판매용 중고 KLA / TENCOR 50-0002-03 #199615

KLA/TENCOR 50-0002-03은 반도체 제조업체에 고급 결함 감지 기능을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 50-0002-03 시스템에는 자동 웨이퍼 식별, 웨이퍼 에지 데이터 수집, 광학 검사, 전기 도량형, 오버레이 등록 및 사이트 간/사이트 간 비교 기능이 포함됩니다. 자동화된 웨이퍼 식별 (automated wafer identification) 기능을 사용하면 장치가 정확한 웨이퍼를 식별하고 그에 따라 검사 설정을 생성할 수 있습니다. 웨이퍼 에지 (wafer edge) 데이터 수집 기능은 10mm 및 3mm 사이트에 대한 에지 데이터를 수집하여 정렬 및 초점 안정성을 제공합니다. 광학 검사 기능은 광범위한 결함 크기가 가능한 3D 정적 (3D Static) 및 동적 결함 감지 기능을 제공합니다. 전기 도량형 기능은 시트 저항, 접촉 저항, 커패시턴스, 컨덕턴스 등 다양한 전기 매개변수를 측정합니다. 또한, 기계는 동적 전기 테스트에 대한 델타 저항, 누출 전류, 고장 전압 및 임계 값을 측정 할 수 있습니다. TENCOR 50-0002-03의 오버레이 등록 기능을 사용하면 도량형, 웨이퍼 처리, 노출 프로세스 중 웨이퍼 정렬 및 오버레이 제어를 측정할 수 있습니다. 사이트 간/사이트 간 비교 기능을 통해 결함 검사 및 전기 측정은 제조 과정에서 동시에 수행되며 표준 ("참조 사이트") 과 비교할 수 있습니다. 허용 불량 속도, 크기 임계값, 통과/실패 기준 등의 사용자정의 검사 매개변수를 각 테스트에 대해 공구에 입력할 수 있습니다. 또한, 통계 분석을 위해 검사 데이터를 데이터베이스에 저장할 수 있습니다. 요약하면, 50-0002-03은 자동 웨이퍼 식별, 웨이퍼 에지 데이터 수집, 광학 검사, 전기 도량형, 오버레이 등록 및 사이트 간/교차 사이트 비교 기능을 갖춘 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 다양한 전기적 매개변수 (electrical parameters), 검색 및 크기 결함 (detect and size defects) 및 통계 분석 결과를 측정하고 비교할 수 있습니다. 이 모델은 고급 결함 감지 및 도량형 장비를 찾는 반도체 제조업체에 이상적입니다.