판매용 중고 KLA / TENCOR 4500 #293626895
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KLA/TENCOR 4500은 고급 반도체 웨이퍼 제작 프로세스의 분석 및 최적화를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 시스템은 고도로 자동화된 모듈식 디자인 (modular design) 을 갖추고 있어 연구 및 산업 환경에서 대용량 생산에 적합합니다. KLA 4500은 세 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 매핑 장치, 웨이퍼 테스트 장치 및 데이터 분석 장치) 로 구성됩니다. 이 매핑 장치 (mapping unit) 는 추가 테스트 및 분석이 필요한 관심 영역을 식별하기 위해 웨이퍼 (wafer) 의 정확한 표면 측정을 담당합니다. 이 작업은 고해상도 고속 이미징 카메라로 웨이퍼를 스캔합니다. 그런 다음, 스캔한 이미지를 통합 소프트웨어에 의해 분석하여 특정 관심 영역의 좌표를 결정합니다. 웨이퍼 테스트 장치 (wafer test unit) 는 이러한 관심 영역에 대한 일련의 테스트 및 측정을 수행합니다. 이러 한 검사 에는 "웨이퍼 '의 질 을 적절 히 평가 하기 위한 전기 특성, 화학적 특성, 구조적 특성 의 측정 이 포함 된다. 이러한 테스트에서 수집된 데이터는 추가 분석을 위해 통합 데이터베이스에 저장됩니다. 마지막으로, 데이터 분석 장치 (data analysis unit) 는 테스트에서 수집한 데이터를 해석합니다. 이 데이터는 정교한 알고리즘과 분석 기법 (analysis techniets) 을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 상세한 품질 맵을 작성하여 웨이퍼 (wafer) 의 결함 및 성능에 대한 철저한 이해를 가능하게 합니다. 또한, 데이터 분석 장치 (data analysis unit) 는 수정 및 예방 조치에 대한 권장 사항을 제공 할 수 있으므로 결함을 예방하고 고품질 생산을 보장하는 데 귀중한 도구입니다. TENCOR 4500은 연구 및 산업 반도체 생산 모두에서 귀중한 도구이며, 웨이퍼 (wafer) 생산 공정을 효율적이고 정확하게 분석 할 수 있습니다. 다용도, 신뢰성, 사용자 친화적인 시스템으로, 다양한 분석 및 측정을 위해 신속하게 설치, 구성할 수 있습니다.
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