판매용 중고 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9229796

KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN
ID: 9229796
웨이퍼 크기: 6"
Unpatterned wafer inspection system, 6".
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 웨이퍼 검사 및 도량형의 최고 수준의 성능과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. KLA 4500 SURFSCAN은 150mm, 200mm 및 300mm 광학의 조합으로, 최고 해상도를 달성할 수 있으며, 최신 고급 소프트웨어 제어 기능인 KLA 4500 SURFSCAN은 가장 까다로운 표면 특성 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. TENCOR 4500 SURFSCAN의 핵심에는 최고 수준의 정확도와 속도를 제공하도록 설계된 대규모 HTOM (High-Throughput Optical Microscope) 이 있습니다. 이 시스템에는 넓은 시야각, 150mm, 200mm 및 300mm 옵틱 조합, 다양한 대비 모드가 있습니다. 이 장치는 실행당 15 개의 웨이퍼를 동시에 캡처 할 수 있으며, 샘플을 멈추고 다시 배치 할 필요가없는, 한 번에 여러 웨이퍼에 대한 강력하고 정확한 표면 분석을 제공 할 수 있습니다. 최신의 고급 교정 방법을 사용하여, 기계는 초기 교정으로부터 최대 4 시그마 높이 변화를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 4500 개의 SURFSCAN (SURFSCAN) 에는 고급 소프트웨어 컨트롤이 장착되어 있어 대규모 시야와 뛰어난 광학 성능을 최대한 활용하도록 설계되었습니다. 이 툴은 직관적인 사용자 인터페이스 (예: 강력한 이미지 분석 소프트웨어) 를 통해 실시간 결과를 신속하게 처리하고 생성할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 통해 사용자는 일반적으로 필요한 시간 중 일부분에서 검색 (scan) 을 쉽게 제어, 분석, 해석할 수 있습니다. 웨이퍼 이미징 외에도 KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN은 중요 치수 스캐닝 및 오버레이 측정을 포함한 완전한 2D/3D 도량형 기능도 제공합니다. 따라서 복잡한 디바이스 구성 프로세스를 획기적으로 간소화하여 선폭 (line width), 참호 (trench), 너비 (width), 높이 (height) 등의 중요한 기능을 정확하게 제어할 수 있습니다. KLA 4500 SURFSCAN은 인상적인 "Smartscan" 기술 덕분에 더욱 향상된 기능도 제공합니다. 이 자동 (automated) 기능은 각 웨이퍼에 대해 최대 4 개의 레이저로 여러 웨이퍼를 빠르게 스캔할 수 있으므로 미세한 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 기능은 자동화된 결함 감지 소프트웨어 (automated defect detection software) 를 통해 지원되며, 사용자가 대형 웨이퍼 샘플을 신속하게 분석하고 결함을 파악하여 가장 진보된 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 시스템 중 하나를 사용할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR 4500 SURFSCAN은 탁월한 성능과 정확도를 제공하여, 가장 까다로운 표면 특성 요구 사항에도 이상적인 선택입니다. 넓은 시야, 뛰어난 optics, 고급 소프트웨어 제어 기능, 자동화된 기능, 4500 SURFSCAN 을 통해 표면을 보다 빠르고 정확하게 분석할 수 있으며, 탁월한 생산성과 안정성을 제공합니다.
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