판매용 중고 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293822877
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KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN은 자동화되고 포괄적인 데이터 측정 및 분석 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 프로세스 제어, 모니터링, Probe 수정 시 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다. KLA 4500 SURFSCAN (SURFSCAN) 은 광범위한 웨이퍼 프로세스 및 자재를 완벽하게 자동화하여 운영 현장 테스트를 더욱 빠르고 안정적으로 수행할 수 있게 해 줍니다. 하위 미크론 정확성과 비교할 수없는 처리량을 제공하는 통합 4 축 스테이지가 특징이며, 전체 웨이퍼 (wafer) 또는 전체 레티클 (reticle) 또는 다이 (die) 를 자동으로 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 최신 알고리즘 기술 및 소프트웨어 (algorithm technology and software) 를 사용하여 프로세스별 테스트 사이를 빠르게 전환하는 한편, 여러 테스트 매개변수를 동시에 측정할 수 있습니다. 또한 두께 프로파일링, 결함 크기 조정, 내장 저항성, 스트레스 테스트 등 고급 도량형 기능을 제공합니다. 이 설계는 자동화된 테스트 결과에서 프로세스로 자동 피드백 (feedback) 을 허용하여 프로세스 제어를 최적화합니다. 이렇게 하면 프로세스 결과의 변화를 최소화하여 생산량을 높이고, 제품 품질을 높일 수 있습니다. 또한 TENCOR 4500 SURFSCAN 시스템은 구성 능력이 뛰어나 여러 프로세스 요구 사항을 충족합니다. 모듈 식 디자인에는 다양한 직경의 웨이퍼, 레티클 또는 다이, 최적화 된 노출 기술 및 멀티 리토 그래피 시스템 (multi-lithography system) 을 포함한 다양한 옵션이 포함됩니다. 또한 통합 관리 콘솔 (Integrated Administrative Console) 을 통해 운영자가 테스트 시퀀스를 정의하고 관리할 수 있으며, 장비 성능을 모니터링하고, 테스트 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 자산을 쉽게 설정하고 운영할 수 있습니다. 전반적으로, 4500 SURFSCAN은 최첨단 기능과 확장성을 제공하여 최적의 프로세스 제어를 제공하는 업계 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 효율적인 설계, 고급 측정 기능, 유연성을 통해 Wafer Fabrication 애플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다.
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