판매용 중고 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293603502

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN은 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 제조 공정 (Manufacturing Process) 의 모니터링 및 품질 제어를 위해 높은 정확도와 감도로 반도체 웨이퍼의 기능을 측정하도록 설계되었습니다. 또한 결함 검사가 가능하며, 프로세스 개발 및 레티클 (reticle) 검증에 사용될 수 있습니다. KLA 4500 SURFSCAN 시스템은 밝은 광원, 선형 전동 단계, 레이저 간섭 단계 및 CCD 카메라를 사용하여 데이터를 빠르고 정확하게 수집합니다. 이 장치는 2 인치 또는 4 인치 반도체 웨이퍼를 측정하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 두께, 총 기판 편평도 및 피쳐 크기를 측정 할 수 있습니다. 공정 개발 및 레티클 자격을 위해, 기계는 웨이퍼의 다양한 전자 빔 패턴 (electron beam pattern) 을 측정하는 것을 전문으로합니다. 레이저 간섭 단계 (laser interferometric stage) 는 공구에 고해상도 도량형에 필요한 향상된 정확도와 뛰어난 안정성을 제공합니다. 단의 움직임은 선형 모터 (linear motor) 에 의해 구동되므로 빠르고 정확한 동작 제어가 가능합니다. CCD 카메라는 고해상도 (high resolution) 를 가지며, 동적 범위가 높은 이미지 데이터를 얻을 수 있으므로 웨이퍼에서 매우 희미한 (faint) 기능을 감지할 수 있습니다. 자산에는 고급 온보드 마이크로 프로세서도 있습니다. 이렇게 하면 모델이 자동으로 웨이퍼 테스트 및 도량형을 수행할 수 있습니다. 직관적인 컨트롤과 사용자 지정 가능한 측정값을 갖춘 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 갖추고 있습니다. TENCOR 4500 SURFSCAN은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 매우 효율적이고 정확한 도구입니다. 첨단 기능 및 고정밀도 (High Precision) 를 통해 세계 유수의 반도체 제조업체에 신뢰할 수 있는 품질 관리 솔루션을 제공할 수 있습니다. 업계에서 귀중한 자산이며, 현재는 제조 환경의 표준 부분입니다.