판매용 중고 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293598476

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN은 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 반도체 칩의 성능과 품질을 모니터링하도록 설계되었습니다. 통합 콤보 센서를 갖춘 KLA 4500 SURFSCAN (SURFSCAN) 은 웨이퍼 표면의 광범위한 미세 구조를 모니터링하기 위한 포괄적인 센서 플랫폼을 제공합니다. 고성능 (HPD) 및 확장성을 통해 다양한 애플리케이션 (Fromresearch 및 개발, 결함 추적, 현장 도량형) 에 이상적입니다. TENCOR 4500 SURFSCAN의 중심에는 컨투어, 반사광, 컨투어/반사 등 다양한 측정에 대한 4 개의 다른 프로버로 구성된 콤보 센서가 있습니다. 컨투어 프로버 (contour prober) 는 웨이퍼 서피스의 3D 프로파일을 이전 스캔과 비교하여 작동하므로 기계가 변경된 내용을 감지할 수 있습니다. 반사 된 광선 프로버 (Reflected Light Prober) 는 웨이퍼 (Wafer) 의 표면에서 반사된 빛을 다른 각도로 포획하여 특정 구조를 식별하는 데 사용할 수있는 이미지를 형성합니다. 컨투어/반사 프로버 (contour/reflection prober) 는 두 프로세스를 결합하여 웨이퍼 표면의 더 자세한 그림을 제공합니다. 4500 SURFSCAN에도 강력한 이미지 처리 및 분석 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 고급 알고리즘을 활용하여 이미지를 분석하고 결함을 나타내는 표면 변형을 감지합니다. 이 소프트웨어는 스캔 결과에 따라 데이터를 해석하고 보고서를 생성하는 데 사용할 수도 있습니다 (영문). 또한 KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN은 다른 시스템 및 프로세스와 통합되어 자동 웨이퍼 구성 워크플로의 일부가 될 수 있습니다. KLA 4500 SURFSCAN은 반도체 웨이퍼의 표면 기능을 검사하고 분석하는 강력한 도구입니다. 그것 은 매우 상세 한 "웨이퍼 '표면 의 그림 을 제공 하며, 가장 작은 결함 까지도 탐지 할 수 있다. 첨단 이미지 처리/분석 기능, 다른 시스템/프로세스와 통합할 수 있는 기능, 그리고 모든 웨이퍼 (wafer) 제작 설비를 위한 매우 강력한 자산입니다.