판매용 중고 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9205755

KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN
ID: 9205755
웨이퍼 크기: 6"
Unpatterned wafer inspection system, 6".
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼의 정확한 지형 측정을 제공하도록 설계되었습니다. SURFSCAN 시스템은 스핀들 모터 (spindle-motor) 구동 단계를 사용하여 웨이퍼를 완벽하게 정렬하고 이동하는 반면, 고급 도량형 알고리즘은 웨이퍼의 지형 및 모양을 정확하게 측정하는 데 사용됩니다. SURFSCAN의 고급 광학 장치에는 조명 된 반전 현미경, 4 개의 디지털 신호 프로세서, LED 조명 (LED lumination) 이 포함되어 있어 현미경이 표면 결함을 정확하게 감지하고 측정 할 수 있습니다. 스테인레스 스틸 참조 구 (stainless steel reference sphere) 는 측정의 정확성과 일관성을 보장하기 위해 사용됩니다. SURFSCAN (SURFSCAN) 은 측정 과정에서 고급 고속 CCD 카메라와 스트로브 (Strobe) 조명기와 함께 웨이퍼 표면의 자세한 이미지를 캡처합니다. 가변 스캔 속도 (variable scan rate) 를 가지며, 이는 wafer 크기와 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 웨이퍼 (Wafer) 지형 데이터는 메모리에 저장되며 다른 장치와 보내거나 공유할 수 있습니다. 서핑 스캔 (SURFSCAN) 에 등장한 도량형 알고리즘은 수동 측정에 일반적으로 필요한 시간의 일부분에서 포괄적 인 표면 분석을 가능하게합니다. 이 기계는 RMS (root mean square) 거칠기, 피크 투 밸리 거칠기 및 라인 너비와 같은 표준 매개 변수에 대한 자세한 분석을 제공 할 수 있습니다. SURFSCAN은 사용하기 쉽고 유지 관리가 쉽습니다. 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 기능을 통해 스캐닝 속도에서 측정 모드에 이르기까지 모든 매개변수를 쉽게 탐색하고 제어할 수 있습니다. 완전 자동화된 작업에는 최소한의 운영자 개입이 필요하며, 자동화된 교정 절차는 정확하고 반복 가능한 결과를 위해 공구를 신속하게 교정합니다. KLA 4000 SURFSCAN은 매우 정확하고 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 고급 광학 모델 및 고급 도량형 알고리즘은 웨이퍼의 정확하고 안정적인 지형 측정을 가능하게합니다. 이 제품은 빠르고, 효율적이며, 사용하기 쉽고, 유지 관리가 용이하여, 반도체 업계에서 사용되는 와퍼의 품질을 평가하기 위한 완벽한 선택입니다.
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