판매용 중고 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9160808

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN은 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 물리적 결함, 전기 단락, 매개변수 규정 준수를 위한 반도체 웨이퍼를 검사하여 제조 비용을 줄이고 제품 품질을 향상시킵니다. 레이저 스캔, 광학 산란, 자기 광학 프로파일, 산란 및 2D 이미지 센서 도량형을 포함한 여러 기술을 사용합니다. 이 시스템은 머신 비전 (machine vision), 로봇 (robotics) 및 프로세스 제어 (process control) 와 같은 다양한 자동화 기술을 통합하여 웨이퍼 레이어, 라인 너비, 두께 및 기타 피쳐의 전기적 특성을 정확하고 효율적으로 측정합니다. 통합 장치에는 고속 스캔, 고급 소프트웨어 제어, 장치 테스트 및 검사 기능도 포함됩니다. Surfscan 4000 기계에는 웨이퍼 테스트를 빠르고 정확하게 수행 할 수있는 Automated Probe Station (자동 프로브 스테이션) 을 포함한 여러 하드웨어 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이 도구에는 또한 SLI (Scanning Laser Interferometer), ETF (Electrical Test Fixture), 특수 카메라 및 수집 된 데이터를 분석하는 Analysis Processor와 같은 여러 데이터 수집 기기가 포함되어 있습니다. 이 자산에는 테스트 절차의 정확한 복제를 허용하는 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 와 오류 탐지를 가능하게 하는 소프트웨어 기능 (software features) 도 포함되어 있습니다. Surfscan 4000의 광학 모델에는 또한 웨이퍼 표면을 따라 균일하고 조정 가능한 조명 필드를 제공하는 RCIS (Reflection Contour Illumination Equipment) 와 같은 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 서피스 프로파일, 선 너비, 각도 측정, CD 불균일성 및 기타 피쳐를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 장치 는 모든 종류 의 "웨이퍼 '," 실리콘' 에서 "갈륨 '비소 에 이르기 까지 그리고 기타 재료 들 과 함께 사용 하도록 설계 되었다. Surfscan 4000은 3D 구조를 포함한 복잡한 웨이퍼 구조를 측정 및 평가할 수 있으며, 비용 효율적인 웨이퍼 검사에 적합합니다. 또한, 단일 웨이퍼 및 배치 처리를 위해 시스템을 구성할 수 있습니다. 대용량 제조 라인 (manufacturing line) 의 검사에 사용할 수 있으며, 품질 관리 (quality control) 나 연구 개발 (research and development) 에 사용될 수 있는 고성능, 고정밀 결과를 제공할 수 있습니다. 전체적으로 KLA 4000 SURFSCAN은 제조 비용을 줄이고 제품 품질을 향상시키기 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 제품은 전기 특성, 라인 너비, 두께, 기타 기능에 대한 빠르고, 정확하며, 반복적으로 측정할 수 있으므로 Wafer 구성 요소가 업계 및 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.