판매용 중고 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #129994

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN은 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 자동 고해상도 검사 및 도량형 장비입니다. 실패 또는 작동하지 않는 실리콘 웨이퍼, 포토 마스크 등을 테스트하고 검사하는 데 사용됩니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 의 전면 과 후면 의 전기 특성 과 지형 을 측정 할 수 있다. 이 장치는 또한 미세 적재 (micro-loading), 오염 (contamination) 또는 물리적 결함 (physical flect) 에 기인하는 결함을 정확하게 정확히 정확히 파악하고 분리 할 수 있습니다. KLA 4000 SURFSCAN은 독점 펄스 플래셔 광원을 사용하여 실리콘 표면을 빠르게 스캔하고 결함을 감지합니다. 광원은 반복 가능한 빛의 깜박임 (flash of light) 을 생성하며, 이는 관찰된 물질에 맞게 시각화를 조정하도록 조정 할 수 있습니다. 기계에서는 탭 정렬 센서 (tap alignment sensor) 를 사용하여 웨이퍼 및 마스크의 정확한 방향을 결정할 수 있습니다. 이것은 도량형 응용 프로그램에 중요한 기능입니다. 여기서 속도와 정확성이 최우선 과제입니다. TENCOR 4000 SURFSCAN에는 최대 2000 배의 샘플 재료를 확대 할 수있는 고해상도 현미경 도구가 있습니다. 현미경 자산에는 디지털 카메라 (camera) 와 이미지 처리 소프트웨어가 장착되어 있어 폭이 6 마이크로 미크론 (micro-micron) 정도로 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 검사 결과를 1 초 이내에 얻을 수 있습니다. 4000 SURFSCAN에는 CCD 이미징 모듈이 장착되어 있으며, 이 모듈은 결함 이미지를 정확하게 캡처하여 X-ray 소프트웨어로 분석할 수 있습니다. 이 기능은 문제가 있는 결함에 대한 빠르고 정확한 평가를 가능하게 하며, '운영 엔지니어 (Production Engineer)' 에게 피드백을 신속하게 제공하는 데 사용될 수 있습니다. KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN에는 인라인 웨이퍼 디프로스터 (inline wafer defroster) 도 포함되어 있으며, 이는 퇴적 공정으로 인해 발생한 오염을 제거 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 "눈 안전 (eye-safe)" 레이저를 특징으로하며, 장비가 웨이퍼 표면을 가로 질러 정확하고 빠르게 스캔하고 잔류 물, 오염 또는 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA 4000 SURFSCAN은 다양한 프로덕션 프로세스에서 사용할 수 있으며, 자동으로 수동 작업으로 시스템을 쉽게 조정할 수 있습니다. TENCOR 4000 SURFSCAN (SURFSCAN) 은 강력하고 신뢰할 수 있는 기술로, 반도체 생산의 질을 보장하는 데 도움이 되며, 업계의 원활하고 효율적인 운영을 유지하는 데 매우 중요합니다.