판매용 중고 KLA / TENCOR 365 UV #9353977
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ID: 9353977
빈티지: 2000
Defect inspection system
INTERNOVA ICLS-RTX Mask aligner
SMIF
Main body:
MLS
Robot arm
Robot and controller
Stage
COHERENT i-Line laser
He Ne Laser
Optic module
Board
Facilities module:
Heater exchanger
COHERENT i-Line laser controller
Power supply
With KLA 60 (KLA 50):
Board
PC Monitor
Board power supply
IC Board
2000 vintage.
KLA/TENCOR 365 UV는 다양한 반도체 장치 및 나노 구조를 분석하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 나노 스케일 영상을 제공 할 수있는 고해상도, 4 방향 모션 고급 광학 현미경을 갖추고 있습니다. 여러 탐지기 (탐사선, 자외선 광전자, 영상) 를 광학 현미경 장치에 통합하여 웨이퍼의 다양한 물리적, 전기적, 화학적 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한, 정밀 초점 및 3D 깊이 필드 제어를 위한 독점 자동 초점 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 기계는 업계 최고의 정확성과 민감도를 가지고 있습니다. 나노 스케일 해상도에서 CD-SEM 이미징 및 측정을 수행 할 수 있으며, 사용자에게 나노 스케일 제작 프로세스 (nanoscale fabrication process) 및 결함 감지 (potential defect detection) 에 대한 더 많은 통찰력을 제공합니다. 다양한 자동 매개 변수 설정을 통해 KLA 365 UV 는 연구 개발, 생산, 품질 보증 (Quality Assurance) 설정에 사용하도록 최적화되어 있습니다. TENCOR 365 UV 도구는 직관적인 사용자 인터페이스로 제작되어, 작업 흐름을 최적화하고 작업을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 사용자 요구 사항에 맞는 맞춤형 보고서를 생성하는 Smart Reports (Smart Reports) 기능을 포함하여 생산성을 극대화하기 위해 다양한 툴이 통합되어 있습니다. 이 에셋은 주요 소프트웨어 패키지와 호환되며, 데이터 익스포트 형식 (export format) 을 통해 원활하게 통합하고 결과를 공유할 수 있습니다. 뛰어난 성능 외에도 365 UV 는 견고하고 강력한 안전 설계를 제공합니다. 이 모델에는 안전 조명 커튼 (Safety Light Curtain) 과 디지털 I/O 보호 (Digital I/O Protection) 가 포함되어 있어 모든 사용자가 유해 방사선과 감전 위험으로부터 보호됩니다. 또한 KLA/TENCOR 365 UV는 ISO 및 TUV 표준을 완전히 준수하며 몇 가지 엄격한 안전 테스트를 통과했습니다. KLA 365 UV (CLA 365 UV) 는 최고의 처리량 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 사용자에게 가장 정확한 결과와 가장 높은 수준의 안전을 제공합니다. 이 다재다능한 시스템은 모든 유형의 반도체 장치 (semiconductor device) 와 나노 구조 (nanosstructure) 를 빠르고 쉽게 분석하여 최고 품질의 장치를 생산할 수 있습니다.
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