판매용 중고 KLA / TENCOR 2915 #9168923

KLA / TENCOR 2915
ID: 9168923
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Inspection system, 12" 2900 Ducting DFIHS PHOENIX v2.0 VQ line 45 kVA 25 Cassette HH 12" SW DSH 065 Haze Shiny 2915 IDA rack E84 Error recovery suite Dual E84 RGV & OHT, PHX, DFIK SHHKO E87 / E39 E90 K40 / K94 GEM / SECS HSHS 2 Onron VG40 V3 CID PHX SHHKO Safety skirt DFIHS, PHX OHT, E-stop and lockout, DF PHX Dual loadport info pad kit G4 FIHS Ionization remote blower conversion kit Blower cable: 290X/1X (50ft) 20m Main power cable: 290X/1X 2900 Logic and memory inspection modes Optics available: 0.05, 0.065, 0.08, 0.09, 0.12, 0.16, 0.2, 0.22 Exposure modes: Blue band Broad band UV Deep band UV Middle band UV Ultra broad band Ultra deep band GH I Line G Line HI Line I Line VIS 2012 vintage.
KLA/TENCOR 2915는 고성능 반도체 장치 생산을 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 업계에서 가장 발전된 사진 촬영 장비에 대한 완벽한 디지털 테스트 및 도량형 (metrology) 기능을 제공합니다. 이 시스템은 완전 디지털, 자동화, 화이트 라이트 스캐닝 도량형 플랫폼으로, 반도체 웨이퍼에서 작은 기능을 매우 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 광학 영상 기계를 사용하여 나노 미터 정확도로 소규모 기능을 정확하게 측정합니다. 라인 너비, 임계 치수 (CD), 모서리 편차, 웨이퍼 표면의 편평 등 최대 10,000 웨이퍼 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이 도구에는 ADC (아날로그-디지털 변환기) 와 도량형 모듈의 두 모듈이 포함됩니다. ADC 모듈은 아날로그 정보를 디지털 데이터로 변환합니다. 도량형 모듈은 웨이퍼 표면의 이미지를 획득하여 정확성을 분석합니다. 이 자산은 고속 데이터 수집 기능을 제공하며, Wafer 의 기능을 자동으로 감지하고 식별할 수 있습니다. 이 모델은 탁월한 데이터 관리 툴과 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하는 신뢰할 수 있는 소프트웨어 플랫폼을 기반으로 합니다. 또한 데이터를 분석하고 이해하기 쉬운 형식으로 제시하도록 설계된 다양한 소프트웨어 모듈 (Software Module) 이 있습니다. 이 장비는 SEMI 및 ISO 표준과 같은 사용 가능한 업계 표준을 최대한 활용하도록 설계되었습니다. 업계에서 가장 발전된 반도체 제작 툴 및 장비와 완벽하게 호환됩니다. 또한 간편한 업그레이드 경로 (upgrade path) 를 통해 필요에 따라 시스템 기능을 손쉽게 확장할 수 있습니다. KLA 2915는 첨단 업계 지원을 위한 다양한 기능과 이점을 제공합니다. 즉, 사용자는 매우 정확한 데이터를 빠르고 효율적으로 수집하고 분석할 수 있습니다. 간편한 운영 및 최소한의 유지 관리를 위해 설계되었으며, 고품질 (High-Quality) 테스트 및 도량형 결과를 제공합니다. 또한, 탁월한 소프트웨어 플랫폼은 업계의 다른 장치와의 호환성을 보장합니다. TENCOR 2915 장치는 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 (Metrology) 요구 사항에 맞게 완벽하고 신뢰성이 높은 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 옵티컬 이미징 (Optical Imaging), 고속 데이터 획득 (High-Speed Data Acquirition) 및 직관적인 소프트웨어를 통해 모든 반도체 생산 라인에 이상적인 선택이 가능합니다.
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