판매용 중고 KLA / TENCOR 1050 #9151487

KLA/TENCOR 1050은 반도체 제조 공정의 검사 및 분석에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다른 반도체 특성 중에서 photomask 결함, 필름 두께, 선폭, 마이크로 결함을 정확하고 신속하게 측정합니다. 클라 1050 (KLA 1050) 은 대용량 반도체 생산에 잘 맞는 다양한 기능을 갖추고 있다. 고해상도 컬러 이미징 (Color Imaging) 과 레이저 현미경 (Laser Microscopy) 을 통해 웨이퍼의 지형 및 표면 기능을 정확하게 검사 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 측정 도구를 제공하여 검사 프로세스를 효율적이고 신뢰성 있게 만듭니다 (영문). 여기에는 필름 두께, 선폭 및 미세 결함을 빠르고 정확하게 측정하도록 설계된 도량형 모듈이 포함됩니다. 텐코 1050 (TENCOR 1050) 은 고해상도 광학 현미경을 활용하여 패턴 및 프로파일 검증을위한 주어진 웨이퍼를 빠르게 이미지화합니다. 현미경의 모터 화 단계는 이미징 및 분석을위한 빠르고 정확한 x-y-z 위치를 제공합니다. 이 기계는 또한 특허를받은 "Z- 대비 (Z-Contrast)" 이미징 기술을 특징으로하며, 이는 웨이퍼 표면의 미세한 특징과 결함을 감지하기위한 광이온화 (photoionization) 라는 프로세스를 활용합니다. 1050의 웨이퍼 테스트 도구는 KLA FieldView 소프트웨어에 의해 구동되며, 이 소프트웨어는 사용자 친화적이고 직관적인 이미지 분석 인터페이스를 제공합니다. KLA/TENCOR 1050에는 필름 두께 및 기타 도량형 매개변수의 자동 계산이 가능한 통합 도량형 도구 상자도 있습니다. 자산은 또한 향후 분석을 위해 다양한 측정 (measurement) 을 수집하고 저장할 수 있습니다. 전반적으로 KLA 1050은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 효율적이고 매우 정확한 모델입니다. 이 제품은 컬러 이미징 (Color Imaging), 레이저 현미경 (Laser Microscopy), 자동 측정 도구 (Automated Measurement Tools) 와 같은 다양한 기능을 제공하여 반도체 특성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 따라서 TENCOR 1050은 반도체 제조 산업에서 대량 생산에 적합합니다.