판매용 중고 KLA / TENCOR 1011 #293748000

KLA / TENCOR 1011
ID: 293748000
Stress gauge.
KLA/TENCOR 1011은 집적 회로 장치의 정확한 웨이퍼 표면 측정 및 분석을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 프로세스 성능, 생산량, 비용 효율성을 극대화할 수 있도록 자동화되고, 반복 가능하며, 정확한 시스템입니다. 이 장치는 다양한 레이어 구조, 장치 등 다양한 웨이퍼 (wafer) 구조를 테스트하고 모니터링하도록 설계되었습니다. KLA 1011 기계는 인라인 (inline) 및 오프라인 (off-line) 테스트를 모두 갖춘 다재다능하고 기술적으로 진보 된 웨이퍼 테스터 및 도량형 도구입니다. 자산에는 고급 이미징 및 분석 기능이 장착되어 있으며, 자동으로, 반복 가능하며, 웨이퍼 표면의 정확한 측정 및 분석을 제공합니다. 이 모델은 다양한 광학, 전기 및 이미징 도량형 측정을 사용합니다. 광학 측정 기법 (Optical Measurement Technique) 은 장치 구조의 특성화에 풍부한 이미지 데이터를 제공하는 표준 (Standard) 및 고급 (Advanced) 어플리케이션에 새로운 고해상도 이미징 센서를 사용합니다. 반면에, 전기 도량형은 웨이퍼 수준에서 전기 회로의 측정 및 특성을 제공합니다. TENCOR 1011 장비에는 다양한 성능 업그레이드 (Capability Upgrade) 와 옵션이 포함되어 있으며, 이 옵션을 사용하여 시스템을 다양한 애플리케이션으로 사용자 정의할 수 있습니다. 이를 통해 빠르고 신뢰할 수 있는 측정 결과를 제공하여 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 제어 (control) 를 제공할 수 있으며, 이를 설계한 프로세스와 비교하여 편차를 파악할 수 있습니다. 이 단위는 산화물, 절연체, 반도체 층 등 다양한 유형의 재료 및 장치를 측정 할 수 있습니다. 또한, 트랜지스터 장치 배열, 매장 된 레이어, 수동 레이어 등 다양한 웨이퍼 구조를 측정 할 수 있습니다. 또한, 1011 시스템에는 더 정확한 데이터 분석 및 피드백 제어를 위해 몇 가지 관련 소프트웨어 패키지가 있습니다. 이러한 소프트웨어 패키지에는 자동 측정, 모델링, 통계 프로세스 제어를 위한 모듈이 함께 제공됩니다. 이러한 소프트웨어 프로그램을 사용하여 도구에서 얻은 데이터를 신속하고 정확하게 분석하여 장치 구조 (device structure), 프로세스 성능 (process performance), 웨이퍼 (wafer) 에 대한 포괄적인 이해를 제공합니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 1011은 강력하고 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 사용자 친화적 인 운영, 빠른 데이터 획득 및 분석, 웨이퍼 표면의 정확한 특성을 제공합니다. 이 모델은 디바이스 구조와 프로세스 성능을 달성하기 위한 강력한 툴로서, 최적화되고 비용 효율적인 방식으로 원하는 사양을 충족하거나 초과할 수 있습니다 (영문).
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