판매용 중고 KLA / TENCOR 1010 #9277070

KLA / TENCOR 1010
ID: 9277070
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR 1010은 반도체 업계에서 연구 수준 특성화와 대량 생산을 모두 지원하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 중심으로 구축되어 있으며, 연산자는 웨이퍼 테스트를 위해 다양한 도량형 알고리즘을 신속하게 구성, 실행 및 분석할 수 있습니다. KLA 1010 장치는 반도체 제조 공정의 까다로운 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 테스트에 사용되는 빛의 특성을 제어하는 고급 광학 (Advanced Optics) 과 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 스위트 (Suite) 를 통해 테스트 웨이퍼에서 측정값을 빠르고 정확하게 캡처할 수 있습니다. 이 기계는 전송 (transmissive) 및 반사 (reflective) 샘플과 함께 작동하여 광범위한 도량형 데이터를 캡처할 수 있습니다. 이 도구의 고급 광학은 레이저 간섭계 (laser interferometer) 로 구성되며, 이는 웨이퍼의 매우 상세한 3D 이미지를 생성하는 데 사용됩니다. 광학 구성에서는 고해상도 (High Resolution) 초점면을 생성하여 기존 웨이퍼 테스트 방식보다 데이터 포인트를 최대 20 배 더 정확하게 캡처할 수 있습니다. TENCOR 1010은 광범위한 측정 및 매핑 기능을 제공합니다. 여기에는 피쳐 감지, 오염 감지, 레이어 두께 분석 및 평탄도 분석이 포함됩니다. 이 제품군에는 여러 층의 웨이퍼를 동시에 측정 할 수있는 강력한 알고리즘 스위트 (algorithm suite) 가 있습니다. 또한, 이 모델은 여러 레이어에 걸쳐 평탄도를 측정하고, 마이크로 스크래치, 핀 구멍과 같은 프로세스 유발 결함을 식별 할 수 있습니다. 또한 KLA Advanced Software Suite는 운영자가 시간이 지남에 따라 테스트 결과를 비교할 수 있도록 데이터 시각화 기능을 제공합니다. 이 장비에는 웨이퍼 테스트 데이터 (Wafer Test Data) 를 비교하기 위한 고급 분석 도구와 잠재적 인 문제를 파악하기 전에 예측 분석 (Predictive Analysics) 이 제공됩니다. 이 시스템은 또한 다양한 추적 능력 (Traceability) 기능을 제공하여 품질 및 규제 표준을 준수하도록 지원합니다. 전체적으로, 1010은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 장치입니다. 강력한 광학 장치, 고급 알고리즘 스위트 (algorithm suite) 를 갖춘 이 기계는 연구 수준 특성화에 필요한 유연성과 정확성, 그리고 생산 수준 측정에 대한 신뢰할 수 있는 장기 데이터 (long-term data) 를 제공합니다. 따라서, 이 제품은 종합적인 웨이퍼 테스트 솔루션을 찾는 반도체 제조업체에 이상적인 도구입니다.
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