판매용 중고 KLA / FILMETRICS Profilm 3D #293659647

KLA/FILMETRICS Profilm 3D는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 최첨단 솔루션입니다. 석판화 (lithography), 에칭 (etching) 과 같은 생산 공정 후 고급 기술을 사용하여 표면 토폴로지 및 재료 구성을 측정합니다. 이 기술은 더 나은 수율 모니터링 및 프로세스 최적화를 제공하여, 반도체 신뢰성을 높이고, 점점 더 비용 효율적인 생산을 보장합니다. KLA 프로파일 3D (Kla Profilm 3D) 에는 최대 4 개의 치수를 캡처 할 수있는 여러 레이저 센서가 장착되어 있으며, 다양한 표면, 높이 및 프로파일 특성을 분석할 수 있습니다. 고급 오버레이 (overlay) 및 포커스 (focus) 시스템은 1 나노미터 미만의 정확한 측정을 제공하여 웨이퍼 구조와 조성이 실시간으로 미세 변경될 수 있습니다. FILMETRICS Profilm 3D는 여러 데이터 수집 시스템을 지원하며 다양한 웨이퍼 크기와 재료에 적합합니다. 투명 서피스 (transparent surfaces), 곡선 서피스 (curved surfaces) 또는 확산 서피스 (diffuse surfaces) 를 모두 측정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 전체 웨이퍼 (Wafer) 관리 및 보고 기능을 제공하여 시간이 지남에 따라 결과를 모니터링하고 서로 다른 데이터 세트를 쉽게 비교할 수 있습니다. 이 시스템은 깨끗한 환경을 유지하고 높은 수율을 유지하도록 설계되었습니다. 통합 청소실 장비에는 진공 장치, 먼지가없는 챔버, 외부 소스의 오염을 방지하는 가스 격리기 (gas isolation machine) 가 포함됩니다. 또한 프로파일 3D (Profilm 3D) 에는 온도, 압력, 노출 등의 매개변수를 조정하여 최적의 수율을 보장할 수 있는 실시간 프로세스 제어 도구가 포함되어 있습니다. 또한 자동화된 환경과 수동 환경 모두에서 KLA/FILMETRICS Profilm 3D를 사용할 수 있습니다. 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 사용 편의성을 높여 숙련된 운영자 (operator) 와 운영자 (operator) 가 새로운 기술을 통해 기능을 신속하게 익힐 수 있습니다. 요약하면, KLA Profilm 3D 자산은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 고급 플랫폼입니다. 표면 텍스처 (surface texture) 와 컴포지션 (composition) 을 극도로 정밀하게 측정할 수 있으며 프로세스 최적화를 제공하여 안정적인 수율을 보장합니다. 통합된 클린 룸 (Cleanroom) 기술 및 실시간 프로세스 제어 (Real-Time Process Control) 를 통해 모델이 항상 최상의 작업을 수행하도록 보장하는 반면, 직관적인 인터페이스는 쉽게 사용할 수 있습니다.