판매용 중고 KEYENCE LK-G87 #9011593

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ID: 9011593
Photoelectric high-resolution sensor AMAT P/N: 1400-00882.
KEYENCE LK-G87 (KEYENCE LK-G87) 은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 결함에 대한 웨이퍼를 자동으로 검사하고, 매개변수를 측정하고, 장치 특성을 식별 및 평가할 수 있으며, 사용자가 신속하게 모니터링하고, 웨이퍼의 품질을 평가할 수 있습니다. 이 시스템은 측정 정확성과 반복성을 위한 비접촉식 (non-contact) 및 레이저 스캐닝 (laser scanning) 과 같은 고급 기술을 통합했으며, 반도체 제조 공정의 다양한 프로세스를 신속하고 자동으로 모니터링하여 효율성 향상, 제품 수율 향상 등의 효과를 제공합니다. 이 장치는 빠른 스캐닝 속도와 견고한 플랫폼 (platform) 을 갖추고 있어 까다로운 생산 환경을 테스트하고 분석하는 데 적합합니다. 또한 고급 광학 확대/축소 머신 (optical zooming machine) 과 다각도 스캔 기능으로 인해 고속 (high-end device) 을 정확하게 측정할 수 있습니다. 따라서 분석 정확도와 처리량이 향상됩니다. 또한 LK-G87 은 자동화된 취급 툴을 통해 와퍼를 빠르고, 안전하며, 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 자산은 처리에 소요되는 시간을 줄이고, 신속하고 안정적인 결과를 산출합니다. 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 게이트 산화물 두께, 게이트 피치, 접촉 구멍 치수, 서피스 거친 (surface roughness) 등과 같은 물리적 매개변수를 측정 할 수도 있습니다. 이 장비는 2D 및 3D 프로파일을 모두 지원할 수 있으므로 복잡한 토폴로지 (topology) 로 웨이퍼의 기능을 분석하는 데 이상적입니다. 또한, 측정 및 분석 프로세스를 간소화하기 위해 KEYENCE LK-G87 (KEYENCE LK-G87) 은 계층적 감지 능력과 깊이 비교 프로그램을 제공하며, 이를 통해 사용자는 웨이퍼의 여러 레이어가 정확한 허용 한도 내에 있는지 확인할 수 있습니다. 또한, 시스템은 결함 감지 모듈 (defect detection module) 을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 표면에 나타날 수 있는 결함을 식별할 수 있습니다. 이 단위는 객체를 자동으로 찾아 플래깅할 수 있으며, 따라서 모든 유형의 결함을 찾는 데 소요되는 시간과 노력을 크게 줄일 수 있습니다 (영문). 마지막으로, 기계는 장치 특성을 평가할 수 있는 고급 장치 (Advanced Device) 운영 분석 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 부품의 측정, 평가 능력을 상세하게 평가할 수 있습니다. 결론적으로, LK-G87은 정확하고 효율적인 검사를 위한 최적의 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 빠른 스캐닝, 뛰어난 정확도, 자동화된 처리 능력, 결함 감지 모듈, 장치 생산 분석 기능의 조합으로, KEYENCE LK-G87 은 고품질 웨이퍼를 보다 효율적으로 사용할 수 있게 해 줍니다.
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