판매용 중고 KEYENCE LK-G11 #9109318

키엔스 LK-G11 (KEYENCE LK-G11) 은 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 웨이퍼에 다양한 결함 및 특성을 검사하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 높은 정밀도 측정과 여러 웨이퍼 테스트 (testing) 를 동시에 수행할 수 있습니다. 이 장치는 200mm 자동 로드 포트를 기반으로하며 TEL (Top Examination Loader), FOUP (Front Opening Unified Pod) 및 JEDEC 표본 카세트를 수락 할 수 있습니다. 전용 현미경을 이용해 패턴 인식 (pattern recognition) 을 할 수 있으며 다양한 특성화 기능을 갖춘 다양한 하드웨어 (hardware) 와 소프트웨어 (software) 애플리케이션을 갖추고 있습니다. GaAs (Gallium Arsenide), Si (Silicon), SiGe (Silicon-Germanium), SOI (insulator on silicon on insulator) 및 COO (Complementary On-Off) 웨이퍼를 포함한 다양한 반도체 웨이퍼를 검사하는 데 사용할 수 있습니다. 이 기계는 정확한 측정을 위해 독립적 인 광학 및 선형 스케일을 사용하는 고정밀도 측정 기능으로 제작되었습니다. 또한 멀티 포인트 매개변수 매핑 (multi-point parameter mapping) 기능을 갖추고 있으며, 웨이퍼의 여러 지점을 동시에 측정하고 검사할 수 있으며 단일 웨이퍼 전체에서 제품 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 제품의 전기 특성을 분석하고 스크래치, 칩, 브리지 결함 (예: 스크래치, 칩, 브리지 결함), 제품의 지형, 표면 오염 (surface contamination) 과 같은 마이크로 레벨의 결함을 감지하고 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 툴의 고급 소프트웨어 (advanced software of the tools) 를 사용하면 여러 변수 및 도량형 기능을 사용하여 웨이퍼에서 손쉽게 데이터를 수집할 수 있습니다. 또한 그래픽 웨이퍼 맵 (Wafer Map) 및 통계 보고 기능으로 보고서를 생성할 수 있으며, 다양한 방법으로 측정 데이터를 분석 할 수 있습니다. LK-G11 은 다양한 웨이퍼 (wafer) 표본과 제품을 검사하고 테스트할 수 있는 안정적이고 정확한 수단을 제공하며, 반도체 웨이퍼 (wafer) 처리 및 도량형과 관련된 실험실을 위한 귀중한 도구입니다.