판매용 중고 KEYENCE LK-011 #9178517

KEYENCE LK-011
ID: 9178517
Laser displacement sensors.
KEYENCE LK-011은 시장에서 가장 발전된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다. 다양한 반도체 웨이퍼 표면에 대한 정확하고 안정적인 테스트 및 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 정교한 검사 및 도량형 (metrology) 도구를 다양한 측정 작업을 수행하는 고효율 시스템 하나로 통합합니다. LK-011에는 두 개의 광원이 있는 고해상도 광학 현미경이 있습니다. 저곡물 해상도용 LED 램프와 고곡물 해상도용 고성능 LED. 현미경은 최대 100 배율의 샘플을 관찰 할 수 있습니다. 즉, 이 장치는 웨이퍼 표면의 매우 상세한 이미지를 제공 할 수 있습니다. 이 기계는 고급 이미징 기술을 사용하여 불규칙성, 결함 또는 예상치 못한 특성을 식별합니다. 이 도구에는 또한 매우 정확한 측정을 제공하는 이중 축 레이저 도량형 도구가 있습니다. 두 개의 개별 축을 따라 이동하는 2 개의 레이저 빔을 사용합니다. 이 장치는 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 의 모든 피쳐의 높이, 너비, 깊이를 감지할 수 있으며, 입자 크기 (particle size) 및 기타 매개변수를 측정할 수 있습니다. 자산은 1nm의 해상도로 매우 정확한 측정을 제공합니다. KEYENCE LK-011 (KEYENCE LK-011) 에는 통합 포커스 모니터도 포함되어 있어 웨이퍼 서피스가 항상 선명한 포커스에 있는지 지속적으로 보장합니다. 포커스 모니터는 자동 초점 (autofocus) 모델을 사용하여 포커스를 최적의 위치에 맞게 자동으로 조정합니다. 이 장비에는 자동화된 결함 탐지 시스템 (automated defect detection system) 이 있어 사람의 눈으로는 볼 수 없는 작은 결함 및 불규칙성을 식별할 수 있습니다. 또한 데이터 분석 도구 (data analysis tool) 를 사용하여 여러 측정값을 사용자 정의 규칙 및 요구사항과 비교할 수 있습니다. 그 결과 는 "머신 '의" 데이터베이스' 내 에 저장 될 수 있으며 품질 관리 및 추적 능력 을 위해 사용 될 수 있다. 추가 분석 및 문제 해결을 위해 데이터를 내보낼 수도 있습니다. 전반적으로 LK-011은 반도체 제조업체를 위한 매우 강력하고 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 이 제품은 안정적이고 정확한 측정으로, 반도체 웨이퍼의 최고 품질을 보장합니다. 이 툴은 전체 테스트 및 도량형 (metrology) 프로세스를 간소화함으로써 비용을 절감하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
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