판매용 중고 KEVEX Omicron 952-102 #63742
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ID: 63742
XRF spectrometer
Pentium II MMX, 333 mHz
64 MB RAM, 6 GB HDD
Ultra Link Model 118 ISA Card
Windows 98
Omincon v2.21
Kevex XRF Monitor v7.0
Kevex SDP (Spectrum Display Panel) v2.1
Kevex VideoApp v1.0
Kevex WinXRF v2.21
Input Voltage: 120 VAC only.
KEVEX Omicron 952-102 Wafer Testing and Metrology 장비는 반도체 웨이퍼 테스트를 위해 설계된 정밀 테스트 플랫폼입니다. 반도체 제조의 프로세스 개발, 특성 및 품질 제어 프로세스를 위해 고안되었습니다. 이 시스템은 동력 웨이퍼 테이블, 지원 주택 및 고해상도 광학 검사 현미경으로 구성됩니다. 웨이퍼 테이블은 최대 1.5 m의 정확도로 웨이퍼를 배치 할 수 있습니다. 광학 현미경은 게이트 길이 (gate length), 장치 크기 (device sizes) 와 같은 웨이퍼 표면의 작은 임계 치수를 측정하고, 다른 특징뿐만 아니라, 정확도는 2jm 이상입니다. 평면과 기울어진 서피스를 모두 측정할 수 있습니다. 오미크론 (Omicron) 952-102 단위는 평면이 아닌 표면을 측정하고 정렬 측정을 수행하는 데 사용할 수있는 벡터 측정 기능을 포함하여 다양한 측정 특성을 제공합니다. 이 머신에는 높이 프로파일 (height profile) 이나 서피스 컨투어 (surface contours) 와 같은 피쳐 형상을 측정하는 데 사용할 수 있는 하향식 뷰 모드도 있습니다. 도구에서 얻은 데이터는 CCD 카메라에 의해 ACIS (Advanced Computer Imaging Asset) 컴퓨터로 전송됩니다. 그런 다음 ACIS 컴퓨터는 이미지를 디지털화하고 이미지 처리, 분석 및 저장 기능을 제공합니다. 이미지를 처리하여 오염, 소액 발작, 선 패턴화 (line patterning) 로 인한 결함 등의 결함을 감지할 수 있습니다. 고급 DIA (Digital Imaging and Analysis) 소프트웨어를 사용하면 보다 자세한 측정 및 분석을 수행할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 고급 접속 옵션을 제공하여 자동 테스트 시스템에 통합할 수 있습니다. KEVEX Omicron 952-102 장비는 반도체 웨이퍼 테스트, 측정 및 분석을위한 다용도 고성능 플랫폼입니다. 광범위한 웨이퍼 크기를 지원하며 테스트, 도량형, 결함 탐지에 매우 정확합니다. 또한 고급 기능 (Advanced Function) 및 접속 옵션 (Connectivity Option) 은 자동화된 테스트 및 프로세스 개발에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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