판매용 중고 KEITHLEY / KLA / TENCOR Quantox 64000 #293817480

ID: 293817480
빈티지: 1996
Silicon and oxide monitoring system Options: 64228 1996 vintage.
KEITHLEY/KLA/TENCOR Quantox 64000은 반도체 산업의 정확성, 신뢰성 및 생산 속도를 높이기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 14um 등급의 품질 (Quality rated to 14um rules) 을 통해 정확성과 반복성이 높은 포괄적인 검사 및 측정을 제공합니다. 이 장치는 웨이퍼 저항성 (wafer resistivity) 및 스트레스 (stress) 와 같은 반도체 제조업체에 대해 중요한 테스트를 수행하도록 설계되었습니다. 매우 정확한 표면 및 결함 분석, 균일 매핑, 트렌치 매핑 및 벤치 마크 분석을 제공합니다. 이 기계는 기존의 현미경보다 더 큰 웨이퍼 (wafer) 표면을 스캔 할 수있는 넓은 시야를 특징으로합니다. 이 툴은 처리량 및 안정성 극대화를 위해 자동화된 (automated) 및 수동 (manual) 정렬을 조합하여 사용합니다. 이 조합은 처리 속도가 손상되지 않고 매우 정밀한 정렬과 하위 "미크론 '수준까지 정확도를 제공합니다. 에셋에는 최대 정확도로 결함을 감지하고 매핑하는 레이어 스택 이미징 (Layer Stack Imaging) 모델이 장착되어 있습니다. 완전하게 자동화된 멀티 포토셀 및 멀티 파이버 휠 검사 모드는 품질 보증을 위해 빠르고, 반복 가능하며, 정확한 결과를 제공합니다. 또한, 레이저 (laser) 와 흩어진 광원을 조합한 통합 포인트 스캐닝 기술 (integrated point scanning technology) 은 웨이퍼 표면을 가로 질러 매우 정확한 포인트 투 포인트 측정을 제공합니다. 이를 통해 웨이퍼 서피스의 결함, 스팟, 스크래치 및 기타 변형을 고속 프로파일링할 수 있습니다. 이 장비는 로트 (lot) 간의 불일치를 줄이고 일관되지 않은 칩을 빠르고 정확하게 감지하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 모든 샘플링 사이클 (sampling cycle) 에서 정밀도를 보장하며, 이 기능은 자동화된 정렬과 결합되어 높은 정확도와 반복성을 필요로 하는 운영자에게 완벽한 솔루션이 됩니다. 결론적으로 KLA Quantox 64000은 고성능 설정, 정확성, 신뢰성 및 속도를 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 이 기계는 공정 최적화 이미징 (process optimized imaging) 을 제공하여 로트 간의 불일치를 줄이고 비응응 칩을 빠르고 정확하게 감지합니다. 매우 정확하고 자동화된 정렬은 모든 샘플링 사이클에서 정확성을 보장하므로, 높은 정확도와 반복 (repeatibility) 을 필요로 하는 운영자를 위한 완벽한 솔루션이 됩니다.
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