판매용 중고 KEITHLEY 6220 #9111566

KEITHLEY 6220은 장치 웨이퍼를 정확하게 측정하도록 설계된 고성능, 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고정밀, 자동 웨이퍼 핸들러를 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 위치를 제공합니다. 완전 프로그래밍 가능한 자동 스테이지 모션이 장착되어 있어 빠르고 정확한 웨이퍼 (wafer) 배치 및 공구 포지셔닝 기능을 제공합니다. 이 장치에는 웨이퍼를 정확하게 측정하기위한 통합 도량형 패키지가 있습니다. 도량형 패키지에는 고해상도 광학 현미경, 레이저 간섭계, 정확한 웨이퍼 이동 및 스캐닝 기능을위한 다양한 광학 강의가 포함됩니다. 측정 기능에는 높이, 너비, 구멍 지름, 측면 각도에 대한 프로파일 측정과 반사 색인 (reflective index) 및 선 너비 (line width) 측정이 포함됩니다. 6220 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계는 열 프로세스, 에피 택시 성장, 이온 임플란테이션, 화학 에칭, 포토 리토 그래피, 유전체 증착 및 스페이서 제작을 포함한 다양한 프로세스 기술로 실행되도록 구성 될 수 있습니다. 이 도구에는 통합 제어 콘솔 (Integrated Control Console) 과 테스트 및 민감한 측정 기기가 포함되어 있으며, 프로세스 제어 및 생산 수익률 개선을 위해 테스트 및 도량형 데이터 수집을 제공합니다. 이 콘솔에는 Test 및 Metrology 데이터를 저장하고 비교할 수있는 포괄적인 TEK-CARE 데이터베이스도 있습니다. 에셋에는 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 동안 온도 변화에 대한 피드백을 제공하기 위해 설정할 수있는 온도 모니터가 포함되어 있습니다. 또한이 모델은 현장 분광학 (in-situ spectroscopy) 을 수행 할 수 있으며, 분광 기술로 집적 회로의 광학 특성을 측정 할 수 있습니다. 마지막으로 KEITHLEY 6220 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비에 대한 테스트는 반복 가능하고 안정적입니다. 이 시스템은 데이터 정확성과 반복성을 보장하는 보정 장치 (calibration unit) 를 내장하여 설계되었습니다. 이렇게 하면 시스템이 사용자에게 정확한 측정을 제공할 수 있습니다. 또한 '오류' 나 '변동' 을 신속하게 파악하고 수정할 수 있으므로 툴의 전반적인 성능이 향상됩니다.