판매용 중고 JMAR Mirage #9112674

JMAR 미라지 (JMAR Mirage) 는 복잡한 반도체 웨이퍼를 고품질 및 신속하게 테스트 할 수 있도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 레이저 광학, 고성능 이미지 센서, 정교한 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 넓은 영역에 대한 동작이 있는 웨이퍼 (wafer) 표면을 분석합니다. Mirage는 초정밀 옵틱, 레이저 기반 이미징 시스템 및 경량 회절 기반 측정을 갖춘 단단히 통합 된 검사 플랫폼을 사용합니다. 이 시스템의 확장 가능한 8 구형 Dualview 이미징 장치는 뛰어난 이미징 기능과 광학 정확도 (높은 배경 환경에서도) 를 제공합니다. 사용자 정의 레이저 점 배열, 고속 정렬 기능 및 7 축 자동화를 사용하여 정확하고 반복 가능한 테스트 및 도량형을 제공합니다. 내장 초소형 시차 이미징 서브시스템은 또한 고감도 및 해상도를 제공합니다. 기계의 MRT (Morphology Recognition Technology) 를 사용하면 전체 웨이퍼 영역에서 표면 패턴과 기능을 1um 정도로 빠르게 평가할 수 있습니다. MRT 엔진은 자동 광학 스티그메이터 및 초점 기능과 결합됩니다. 이는 복잡한 반도체 제품을 제조하는 데 필요한 표면 (surfaces) 과 비균일성 (non-uniformity) 에 대한 종합적인 성능 평가를 제공합니다. JMAR Mirage는 또한 SPCICorp의 ISC (Intersite Control) 기술을 사용합니다. ISC는 현장 분석 라이브러리 (in-situ analysis library) 및 알고리즘을 통해 공구 복잡한 명령에 대한 통합 제어 및 모니터링을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 함께 작동하여 결함 영역 (defect area), 위치 (position), 크기 (size) 와 같은 다양한 중요한 특성을 신속하게 결정합니다. 전반적으로 Mirage는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 포괄적인 고성능 도구를 제공합니다. 자동화된 모션 제어 테스트 및 분석과 결합된 고급 이미지 처리 기능을 제공합니다. 레이저 광학, 이미지 센서, 차등 이미징 알고리즘, 자동 도구 제어 (automated tool control) 를 조합하여 복잡한 반도체 웨이퍼의 표면을 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다.