판매용 중고 JMAR Mirage #140281

JMAR 미라지 (JMAR Mirage) 는 반도체 생산을 개선하는 데 도움이되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체의 효율적인 테스트 및 도량형을 촉진하기 위해 협력하는 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이 장치에는 샘플 이미징을위한 텔레센트릭 이미징 광학 (Telecentric Imaging Optics) 과 같은 고급 광학 (Advanced Optics) 과 깊은 UV에서 가까운 IR까지의 전체 스펙트럼 커버리지가 포함됩니다. 고해상도 3축 (High Resolution 3 axis) 단계는 샘플의 정확한 정렬 및 스캐닝에 사용됩니다. 표본은 가시광선 및 적외선을 사용하여 조명되며, 반사 된 신호는 CCD 이미징 검출기를 사용하여 캡처됩니다. CCD 검출기는 또한 더 정확한 도량형 측정을 허용하는 열 이미징 기능을 제공합니다. 도량형 측면에서 Mirage에는 광학 및 기계 기술을 통합하는 고급 3D 스캐너 (Advanced 3D Scanner) 가 장착되어 반도체 지형과 미세한 기능을 빠르고 정확하게 측정합니다. 고급 스캐너는 피쳐 높이 (feature height), 평면 (planarity), 피쳐 크기 (feature size) 를 포함하여 피쳐 모양과 동역학을 정확하게 캡처합니다. 이 기계는 또한 Nano IntectionTM 소프트웨어를 사용하여 서브 표면 결함 및 불순물을 정확하게 감지하고 측정합니다. JMAR Mirage에는 오버레이 및 정렬, CD 및 SEM 결함 측정, 필름 두께 및 스트레스 평가, 기능 균일성, 워페이지 및 리토 레티클을 포함한 다양한 측정 기능이 있습니다. 이 도구에는 대화형 패턴 인식, 자동 결함 분류, 수명 관리 (Lifetime Management) 등의 다양한 분석 기능도 있습니다. 전반적으로, 미라지 (Mirage) 는 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 반도체 제조업체의 생산 수율을 높이고 품질을 향상시킬 수 있습니다. 이 모델은 고해상도 (Optical Resolution), 빠른 획득 속도, 다양한 측정 및 분석 도구를 제공합니다.