판매용 중고 ISIS SENTRONICS SemDex 300 #9269325
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ISIS SENTRONICS SemDex 300은 효율적이고 정확한 웨이퍼 결함 분석, 측정 및 정렬을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. TEM (Transmission Electron Microscope) 기술을 사용하여 고해상도 이미징 및 3D 지형 매핑을 용이하게합니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 광범위한 정전기 및 저항 샘플에 대한 결함 감지, 웨이퍼 제조 결함 감지, 비파괴적 도량형 (non-destructive metrology) 및 뒷면 분석 (back-side analysis) 이 가능합니다. 이 시스템은 구조를 나노 미터 (nanometer) 수준으로 측정 할 때 탁월한 정확도를 달성하기 위해 광학에 이중 파장 간섭계를 사용합니다. 고급 정밀도 (Advanced Level of Accuracy) 는 모든 웨이퍼 구성 작업에 대해 높은 정밀도를 보장합니다. 또한이 장치는 고유 한 범용 참조 기술을 사용하여 도량형 시스템과 기타 장비 (예: C-CAD 소프트웨어, 머신 비전) 간에 정보를 정확하게 수집 및 공유합니다. SemDex 300은 또한 독점적 인 고관용 스캐닝 도구를 사용합니다. 이 고속 스캔 에셋은 단 몇 분 안에 메가 픽셀 이미지를 정확하게 생성 할 수 있습니다. 따라서 결함 및 프로세스 변형을 효율적으로 파악할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 브라이트필드, 다크필드, 자동 인덱싱, 수동 검사 등 다양한 표준/맞춤형 검사 모드가 있습니다. 여러 가지 검사 모드는 다양한 종류의 웨이퍼 관련 결함을 분석 할 때 강력한 접근 방식을 제공합니다. 마지막으로 ISIS SENTRONICS SemDex 300은 다른 소프트웨어 도구 및 하드웨어 솔루션과도 통합됩니다. 이를 통해 사용자는 다양한 다른 작업에 대해 소프트웨어의 고성능 처리 (HPP) 기능을 활용할 수 있습니다. SENTRONICS SemDex 300 은 자동 데이터 로깅 및 분석 (automated Data Logging and Analysis) 과 같은 기능과 더불어 플랫폼 상에 사용자 정의 소프트웨어 애플리케이션을 구축하는 기능을 통해 Wafer Testing 및 Metrology 를 위한 강력하고 다양한 솔루션입니다.
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