판매용 중고 INSPECTROLOGY IVS-165 #293648851

ID: 293648851
웨이퍼 크기: 8"
CD Measurement system, 8".
INSPECTROLOGY IVS-165 (INSPOLOGY IVS-165) 는 모듈식 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 각 및 모든 단일 웨이퍼의 잠재적 결함을 식별할 수 있으며, 심층 및 종합 분석을 위해 구성 가능한 종합 제품군으로 구성되어 있습니다. 그것의 포괄적 인 기능 세트는 실리콘에서 GaAs, InP 및 그 이상에 이르기까지 다양한 재료 및 기판을 테스트 할 수 있습니다. 시스템은 각 웨이퍼에 존재하는 도량형 (metrology) 또는 결함에 대한 트랩핑 및 세부 분석을 가능하게 합니다. 2D 및 3D 이미징, 보조 색상 이미징, 루멘 및 광학 밀도, 바이어스, 별색 크기, 컨투어 및 자동 세그먼트 참조, 자동 정렬 등 다양한 이미지 검토가 가능합니다. 또한, 이 장치는 퍼지 결함 조사, 자동 웨이퍼 방향 및 분류, 종합적인 결함 데이터 추출 및 조사, 다중 웨이퍼 비교 등 다양한 고급 결함 성능 분석을 제공합니다. 기계가 캡처한 상세 정보 (예: 좌표 위치, 결함 오류) 를 사용하여 프로세스 안정성을 높이고 전체 수율을 높일 수 있습니다. IVS-165는 또한 강력한 스타일러스 및 SEM 검사 기능 (예: 고해상도 입자 분석 및 3D 표면 프로파일링) 과 최소 사용자 간섭이 있는 이미지의 자동 스티칭을 제공합니다. 또한, 고속 도량형은 여러 다이 섹션에 걸쳐 웨이퍼를 빠르게 특성화하여 자동 마이크로 로빙 테스트 결과를 최적화 할 수 있습니다. 마지막으로, INSPECTROLOGY IVS-165는 매우 안정적이고 정확한 배치, 고속 모션 제어, 데이터 획득 및 통신을 통합하여, 고성능 테스트 프로토콜을 최소한의 왜곡으로 충실히 따라야 합니다. 이 도구의 뛰어난 정확도 (고가용성) 는 더욱 빠르고 정확한 결과를 보장합니다.
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