판매용 중고 HITACHI ZA-H200UND #9383303

HITACHI ZA-H200UND (HITACHI ZA-H200UND) 는 반도체 웨이퍼를 생산하고 제작하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 습식, 결함 분석, 입자 검사, LEIS (저에너지 이온 분광법) 및 QCM (Quartz Crystal Microbalance) 을 포함한 광범위한 기능을 제공합니다. ZA-H200UND에는 최대 200 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 543mm 직경의 챔버가 있습니다. 이 시스템에는 고속 모터가 장착되어 있는데, 이 모터는 웨이퍼를 분당 최대 200회전 (revolution) 까지 회전시킬 수 있습니다. 챔버의 큰 조리개와 결합 된 고속 모터는 HITACHI ZA-H200UND가 웨이퍼 처리 및 도량형 동안 임계 치수 (CD) 및 결함 이미징과 같은 정확한 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 장치의 고해상도 검출기는 탁월한 정확성과 반복성으로 데이터를 수집합니다. 컴퓨터에는 모션 컨트롤 모듈 (Motion Control Module) 이 있어 사용자가 샘플과 관련하여 프로브를 정확하게 배치할 수 있습니다. 데이터 값은 기기에서 직접 저장하거나 인쇄할 수 있습니다. ZA-H200UND의 높은 화질은 다양한 고급 하드웨어 구성 요소에서 지원됩니다. 여기에는 파장 보상 렌즈 (compensated lens) 를 사용하여 도구가 매우 낮은 왜곡으로 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 색상 필터 휠 (color filter wheel) 을 사용하면 샘플의 파장과 일치하여 포커스를 좁히고 플레어를 줄일 수 있습니다. 그리고 입체 현미경 (stereomicroscope) 객관식 렌즈 (objective lens) 는 더 깊은 분야를 제공하고 현미경적으로 작은 결함의 분석을 가능하게한다. HITACHI ZA-H200UND 의 추가 기능에는 자동 정렬 소프트웨어 패키지가 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 안정성이 일관되게 여러 웨이퍼를 신속하게 조정하고 측정할 수 있습니다. 또한 ZA-H200UND (ZA-H200UND) 는 나노 맵 (nanomap) 기능을 사용하여 웨이퍼의 특정 영역 또는 장치로 측정을 쉽게 좁힐 수 있습니다. 요약하면, HITACHI ZA-H200UND는 생산 및 제작 된 반도체 웨이퍼의 특성을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 이 제품은 고속 모터, 고해상도 검출기, 모션 컨트롤 모듈 (Motion Control Module), 자동 정렬 소프트웨어 (Automatic Alignment Software) 및 다양한 고급 하드웨어 구성 요소로, 정확한 측정, Critical Dimension Imaging 및 결함 이미징 기능을 제공합니다. ZA-H200UND (ZA-H200UND) 의 나노 맵 (Nanomap) 기능은 측정을 정확하게 좁힐 수있는 기능을 제공하여 고급 웨이퍼 도량형 및 프로세스 개발에 이상적인 모델입니다.