판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI VR-200 #9231050

ID: 9231050
Resistivity test system.
HITACHI/KOKUSAI VR-200은 고급 정렬, 테스트 및 도량형 기능을 갖춘 완전 통합 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 검사 단위, 전도성 테스트 미터, 전기 테스트 단위, 웨이퍼 프로브 레이저 (laser for wafer probing) 를 포함하여 매개변수 및 도량형 측정을위한 구성 요소로 구성됩니다. 이 기계에는 웨이퍼 에지 업 뷰를 위해 선택적인 에지 스테이션 (edge station) 도 장착되어 있습니다. 이 도구는 와퍼 테스트 및 도량형 (예: 접촉 저항, 커패시턴스, 저항성, 유전율, 전류 누출, 인덕턴스 및 광학 특성) 동안 다양한 전기 및 광학 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한 최대 1 micro-m 해상도의 단일 웨이퍼 (wafer) 에서 각 매개변수의 지형을 독립적으로 측정 할 수 있습니다. 이 자산은 광학 부품 (Optical Component) 과 집적 회로 (Integrated Circuit) 를 모두 테스트하도록 설계되었으며, 다양한 호환 가능한 테스트 대상 및 샘플 유형을 갖추고 있습니다. 또한 정확하고 재현 가능한 결과를 위해 내장 레코더를 제공합니다. 이 모델은 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 감지 기능을 통해 다양한 웨이퍼를 효율적이고 신속하게 테스트할 수 있도록 설계되었습니다. 정확한 측정 결과를 얻기 위해 장비에는 고정밀도, 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있어 광학 (optical) 및 전기적 (electrical) 특성을 모두 광학적으로 이미징할 수 있습니다. 또한 HITACHI VR-200은 테스트 대상 장치의 뛰어난 이미징을위한 강력한 FEM (field emission microscopy) 기능을 갖추고 있습니다. 또한 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 빠르고 쉽게 설치할 수 있습니다. 이 장치의 직관적인 메뉴 기반 제어기 (Control Machine) 를 사용하면 원하는 테스트 매개변수 (Test Parameter) 및 샘플 요구사항에 맞게 도구를 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 자산에는 여러 소프트웨어 패키지에 대한 포괄적인 지원이 제공되어, 특정 애플리케이션에 맞게 빠르고 편리하게 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). 이 모델은 대부분의 업계 표준 테스트 챔버 (test chamber) 와 호환되며, 현장 테스트 및 실험실 측정이 가능합니다. 이 장비는 또한 웨이퍼 레벨 테스트에 사용할 프로브 카드 홀더 (Probe card holder) 를 포함하여 몇 가지 추가 기능을 제공합니다. KOKUSAI VR-200은 다른 테스트 및 도량형 기기와 결합하여 완전한 웨이퍼 테스트 솔루션을 만들 수 있습니다. 실험실의 경우, VR-200은 뛰어난 정확도, 반복 가능성 및 속도를 가진 고급 테스트 시스템을 제공합니다. 광범위한 기능을 통해 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 을 선택할 수 있습니다.
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