판매용 중고 HEXAGON METROLOGY Global Classic SR #9375406

ID: 9375406
빈티지: 2016
Measuring system Measuring range 500-700. 2016 vintage.
HEXAGON METROLOGY Global Classic SR은 반도체 제작 및 생산 프로세스 제어의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된, 고도로 신뢰할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동 (automated) 기능을 통해 직경이 최대 300mm인 정밀도와 수율을 향상시킬 수 있습니다. 이 시스템에는 모서리 측정, 지형 검사, 서피스 거친 데이터 분석, 결함 감지 등 고급 도량형 기능이 있습니다. Global Classic SR은 반도체 생산 환경에 최적화된 소프트웨어 및 하드웨어 모음인 HEXAGON METROLOGY Classic (HEXAGON METROLOGY Classic) 플랫폼을 기반으로 합니다. 이 플랫폼은 강력한 데이터 처리 기능을 제공하며, 프로세스 제어 요구 사항에 따라 여러 소프트웨어 패키지를 지원합니다. 이 소프트웨어에는 강력한 3D 시각화 엔진이 포함되어 있어 운영자가 결과에 대한 명확한 통찰력을 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 자동 웨이퍼 처리 장치 (WHS) 가 포함되어 있으며, 전송 로봇은 표준 웨이퍼 카세트와 호환됩니다. 이를 통해 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리 및 배치가 가능합니다. 게다가, 이 도구는 이미지를 수집하고, 분석하고, 저장할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한 통합 포인트 클라우드 (Integrated Point Cloud) 및 CAD 모델 비교 도구를 통해 완료된 웨이퍼에서 가능한 변형 또는 결함을 신속하게 감지 할 수 있습니다. 또한 HEXAGON METROLOGY Global Classic SR에는 Hexagon Correction Tool 및 Measurement Toolset이 포함됩니다. 교정 도구 (Correction Tool) 는 데이터를 정확하게 수정하여 측정 정확성과 추적 가능성을 보장합니다. 측정 도구 세트 (Measurement Toolset) 는 작은 피쳐, 고층 구조 또는 라인 온 라인 구조가 웨이퍼에서 정확하게 측정되고 캡처되도록 합니다. Global Classic SR에는 포괄적인 침투 및 출력 기능도 포함되어 있습니다. USB, 이더넷, 직렬, FTP 등 다양한 외부 데이터 처리 인터페이스를 선택할 수 있습니다. 자산은 Windows 및 Linux 등 다양한 운영 체제와 호환됩니다. 또한이 모델에는 쉽게 보고서를 작성할 수있는 User-Programmable Report Composer가 포함되어 있습니다. 보고서를 생성, 인쇄 또는 전자 메일로 보낼 수 있습니다. 향상된 장비 진단, 경고 및 원격 연결은 온라인 및 오프라인 서비스에 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 HEXAGON METROLOGY 서비스의 적용을 받으며, 서비스 수준을 선택하여 최대 가동 시간을 보장합니다.
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