판매용 중고 HEXAGON METROLOGY Global Classic SR #9363427

ID: 9363427
Measuring systems.
HEXAGON METROLOGY Global Classic SR은 반도체 및 평면 패널 산업의 요구를 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최고 12 인치 직경의 웨이퍼에 대해 탁월한 처리량, 높은 정확도, 안정성, 반복 가능한 측정값을 제공합니다. 이 시스템의 기능에는 완전한 표면 이미징을위한 여러 개의 검출기, 패라메트릭 분석을위한 고급 소프트웨어, 정확도 향상을 위한 자동 공구 교정 (automated tool calibration) 이 포함됩니다. Global Classic SR은 업계 최고의 자동 초점 장치와 함께 멀티 포지션 웨이퍼 핸들러를 갖추고 있습니다. 이 조합은 우수한 결과를 유지하면서 높은 처리율을 보장합니다. 또한, 이 시스템에는 기능 인식 및 프로세스 최적화를 위한 사용자에게 친숙한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 대화형 피쳐 추출, 패라메트릭 분석 및 자동 보정이 가능합니다. 또한, 소프트웨어에는 최적의 프로세스 경로를 결정하고 웨이퍼 레이아웃 (wafer layout) 및 프로세스 레시피 (process recipe) 의 정렬 및 최적화를 자동화하는 알고리즘이 있습니다. HEXAGON METROLOGY Global Classic SR 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구는 고해상도 센서로 탁월한 정확도를 제공하여 5nm까지 기능을 측정 할 수 있습니다. 에셋은 다이 투 다이 (Die-to-Die) 글로벌 등록 (Die-to-Die Global Registration) 기술을 사용하여 각 웨이퍼의 외부 치수를 자동으로 감지 한 다음 측정을 정확하게 나타낼 수 있습니다. 이 모델은 또한 체계적인 오류를 최소화하기위한 진동 격리 (Vibration isolation), 정확한 온도 조절 및 빠른 표면 이미징을위한 고속 1D 카메라 (1D Camera) 를 특징으로합니다. Global Classic SR 장비에는 간편한 정보 교환 및 실시간 데이터 피드백을 위한 직관적인 GUI 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 시스템의 유연성을 통해, 사용자는 Wafer Testing (웨이퍼 테스트) 및 Metrology (도량형) 에 대한 운영 요구 사항에 따라 다양한 데이터 획득 및 보고 솔루션을 선택할 수 있습니다. 또한이 장치는 레티클, 다이 정렬, 쿼츠 조각, 표준 또는 사용자 정의 도량형 작업과 같은 다양한 테스트 옵션을 제공합니다. 결론적으로, HEXAGON METROLOGY Global Classic SR 웨이퍼 테스트 및 도량형은 반도체 및 평면 패널 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 뛰어난 정확도, 뛰어난 처리량, 신뢰할 수 있는 측정, 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 등이 특징입니다. 또한 진동 격리, 정확한 온도 조절, 고속 1D 카메라와 같은 다양한 고급 기능을 제공합니다. 강력한 기능을 갖춘 이 툴은 다양한 운영 환경에서 wafer testing (웨이퍼 테스트) 및 metrology (도량형) 를 위한 이상적인 선택입니다.
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