판매용 중고 HDI IPS-6000 / SRA-FA #128060

HDI IPS-6000/SRA-FA는 반도체 웨이퍼 및 집적 회로 (IC) 를 검사하여 결함 및 구조적 결함을 검사하도록 설계된 고정밀 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 전기 테스트 (Electrical Test) 및 광학 검사 (Optical Inspection) 기능이 포함되어 있어 웨이퍼 두께, 평면도, 패턴 선형성 및 기타 중요한 특성을 빠르고 안정적으로 측정할 수 있습니다. IPS-6000 은 모션 센서 (motion sensor) 가 통합된 모듈식 멀티 축 설계와 설치 및 유지 보수가 용이한 컴팩트하고 가벼운 설계를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 측정 작업 중 스테이지의 스캔 속도, 동작 범위, 위치를 정확하게 제어하는 고급 동작 제어 시스템 (advanced motion control machine) 이 포함되어 있습니다. 또한 연속적인 시퀀스에서 여러 웨이퍼를 측정하도록 공구를 구성할 수 있으며, 이를 통해 정밀도 (accuracy) 와 처리량 (throughput) 을 높일 수 있습니다. 에셋은 고급 옵틱 (optic) 과 고성능 이미징 장비를 갖춘 카메라 (camera) 모델을 활용하여 전체 웨이퍼의 결함 및 결함을 검사합니다. 이 시스템은 청소실 설치에서 고습도 (HI) 환경까지 다양한 환경에서 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 패턴 및 미세 구조의 정의를 정확하게 측정하는 등, 사용자 정의 측정에 대해 쉽게 재구성할 수 있습니다. 광학 검사 장치 외에도 IPS-6000 에는 아날로그 (analog) 및 디지털 인터페이스 기능을 모두 갖춘 전기 테스트 머신이 포함되어 있습니다. 이를 통해 박막 트랜지스터 (TFT) 및 기타 활성 매트릭스 요소와 표준 웨이퍼 레벨 전기 성능 측정을 전기적으로 테스트 할 수 있습니다. 마지막으로, IPS-6000/SRA-FA에는 웨이퍼 및 집적 회로에 대한 종합적인 평가를위한 FA 데이터 분석 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 실시간 결함 감지, 결함 평가, 추적, 프로세스 모니터링 등 다양한 분석 기능이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 특정 고객에 대한 특별 테스트 및 측정 자료 (Metrics for Special Testing and Metrics) 를 위해 사용자 정의할 수 있으며, 품질 보증을 위한 필수 구성 요소입니다.