판매용 중고 GCA / TROPEL II-150 #9285600

GCA/TROPEL II-150 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 반도체 장치의 평평하고 평면 표면의 도량형을 위한 고급 자동 솔루션입니다. 스테이지, 정렬, 이미징 구성 요소와 통합된 저배율 광학 현미경을 활용하여 정확도가 높은 다양한 중요한 표면 (critical surface) 측정을 수행합니다. GCA II-150은 최대 300 미크론의 동적 범위를 가지며, 매우 작은 패턴에서 매우 큰 패턴까지 측정 할 수 있습니다. 최대 8 × 10 개의 장치를 측정 할 수 있으며, 결과의 정확도에 대한 운영자의 영향을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 동일한 표면의 여러 이미지를 동시에 얻을 수 있는 고급 프레임 잡기 (advanced frame-grabbing) 이미징 장치가 포함되어 있어 이미지 품질이 향상되고 이미징 조건의 자동 최적화 (automatic optimization) 가 가능합니다. TROPEL II-150은 여러 이미지의 자동 등록을 위해 4 점 정렬 스캐닝 기술 니크를 사용합니다. 이를 통해 기계는 전체 영역을 미크론 수준의 정확도로 매핑 할 수 있습니다. 이 도구에는 또한 3D 이미징을위한 다양한 분석 도구가 포함되어 있으며, 표면 결함, 외부 재료 또는 불규칙성 (10 nm) 으로부터 표면 결함을 감지 할 수 있습니다. 에셋에는 강력한 자동 평면 서피스 에미 터 (automated planar surface emitter) 가 포함되어 있으며 패턴 서피스를 측정하는 데 중요한 기능을 제공합니다. 이 기능은 평탄도 (flatness) 측정에 대해 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하며, 복잡한 모양을 보다 정확하게 복제할 수 있습니다. 모델의 토탈 포커스 (Total Focus) 기술은 장치 내의 여러 깊이에서 동시에 모든 데이터를 획득하여 서피스 특성을 개선합니다. II-150 (II-150) 은 사용하기 쉽고 신뢰성이 높은 장비로, 임의의 평면 표면을 측정하기 위해 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 제품은 모든 반도체 제조 환경에서 사용하기에 적합하며, 도량형 테스트 (metrology and wafer testing) 를 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.