판매용 중고 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 900 #9293062
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ID: 9293062
웨이퍼 크기: 8"-12"
System, 8"-12"
Integrated metrology chamber
Temperature up to 900°C
Vacuum / Inert gas purge
2D/3D Stress mapping option.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900은 반도체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 결함 검사, 결함 감지, 결함 현지화, 정전량 대 전압 (C-V) 측정, 전기 파라 메트릭 테스트 등 다양한 웨이퍼 도량형 프로세스에 사용할 수 있습니다. FSM 900 에는 다양한 구성에서 웨이퍼 (wafer) 를 로드할 수 있는 자동 웨이퍼 처리 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계 는 광학 "프로브 '와 전기" 프로브' 를 이용 하여 "웨이퍼 '표면 의 결함 을 정확 히 탐지 하고 찾아낼 수 있다. 또한 인라인 프로세스 모니터링 및 자동 결함 분석 기능도 제공합니다. 이 도구에는 수동 절차를 사용하지 않고 Pick-and-Place 등의 웨이퍼 처리가 가능한 VLP (Vacuum Load Port) 가 장착되어 있습니다. FRONTIER SEMICONDUCTOR 900에는 고급 다이 본딩 에셋 (die-bonding asset) 이 장착되어 있어 웨이퍼에서 다이를 수동으로 결합할 필요가 없습니다. 이 모델에는 반도체 장치의 전기 매개변수를 정확하게 측정 할 수있는 고급 C-V 측정 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 초당 최대 10,000 포인트로 C-V 커브를 측정하고 분석 할 수 있습니다. 900은 또한 온칩 (on-chip) 및 오프 칩 (off-chip) 결함의 정확한 위치를 가능하게하는 포괄적 인 결함 현지화 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 고해상도의 웨이퍼 (wafer) 이미징을 수행할 수 있는 고급 광학 이미징 툴이 장착되어 있다. 이 자산은 또한 적응 임계 처리 (adaptive thresholding) 및 기하학적 형태 (geometrical morphology) 와 같은 강력한 소프트웨어 알고리즘으로 웨이퍼에 대한 진단을 수행 할 수 있습니다. 결론적으로 FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900은 다양한 웨이퍼 계측 프로세스에 사용될 수 있습니다. 자동 웨이퍼 처리 모델, 다이 본딩 장비, C-V 측정 시스템 및 결함 현지화 장치가 장착되어 있습니다. 또한 고해상도 이미징을위한 고급 광학 이미징 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구는 반도체 웨이퍼의 정확하고 고속 측정을 수행 할 수 있습니다.
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