판매용 중고 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 8800 #9400269

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 8800 Wafer Testing and Metrology Equipment는 모든 크기의 웨이퍼를 테스트, 측정 및 특성화할 수있는 완전한 시스템입니다. 하이엔드 반도체 제작 및 개발을 위해 설계되었으며, 다중 축 웨이퍼 스테이지, 대용량 고감도 도량형 (High-Sensitivity Metrology) 도구 및 소프트웨어, 높은 처리량 자동화 등이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 크고 정밀한 5 축 스테이지가 장착되어 1/4 ~ 8 인치 직경의 웨이퍼 테스트 및 도량형이 가능합니다. 5축 단계에는 수직, 수평, 각도, 회전 축의 매끄럽고 정밀한 조정이 포함되어 있으며, 동작 범위가 넓고 정확도가 높습니다. 이 단계에는 자동 정렬 장치 (Automatic Alignment Machine) 도 포함되어 있어 정확하고 반복 가능한 측정을 보장합니다. FSM 8800에는 다양한 자동 현미경 시스템뿐만 아니라 contact 및 non-contact 광학 프로파일로미터, sametrographs, focusmeters, scatterometers 등 다양한 도량형 도구가 장착되어 있습니다. 이 툴에는 측정 데이터를 설계 표준과 분석, 비교하고, 프로세스 균일성과 일관성을 평가하고, 미세 구조 기능을 특성화하는 강력한 소프트웨어도 포함되어 있습니다 (영문). 자산은 석판화, 저항 에칭, 금속 증착, 화학 증발 (CVD), 이온 이식, 금속 에칭 등 반도체 제조 공정의 여러 단계를 분석하는 데 사용될 수 있습니다. 자동 현미경 모델은 다이 표면의 검사 및 ESD (cleaning, packaging and electrostatic discharge) 테스트에도 사용될 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 다중 웨이퍼를 병렬로 테스트할 수 있도록 하는 통합 자동화 (Integrated Automation) 기능과 테스트 매개변수 (Test Parameter) 선택 및 측정 순서를 자동화하여 빠르고 재현 가능한 테스트를 수행합니다. 자동화 기능을 통해 사용자 정의 기능을 통해 복잡한 테스트 (예: 다중 레벨 테스트, 프로그래밍) 를 수행할 수도 있습니다. FRONTIER SEMICONDUCTOR 8800 Wafer Testing and Metrology System은 반도체 제작에서 가장 까다로운 애플리케이션을 처리하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 이 기계는 다양한 도량형 툴과 소프트웨어 (software), 유연한 자동화 기능을 통해 정확하고 반복 가능한 측정값을 제공하며, 고급 디바이스 제작을 위한 강력하고 안정적인 도구입니다.