판매용 중고 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TC #9228364

ID: 9228364
빈티지: 2004
Thin film thickness measurement system 2004 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TC는 높은 정확성과 효율성을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 기존 반도체 프로세스 라인 내에서 손쉽게 배치, 통합할 수 있는 초소형 설계를 갖추고 있습니다. 직접 웨이퍼 검사 단계와 함께 4.5nm 정도의 작은 기능을 측정 할 수있는 광학 프로파일 측정 현미경 (Optical Profile Measuration Microscope) 이 특징입니다. FSM 500TC는 또한 DLP (Digital Light Process) 검사 모드를 제공합니다. DLP (Digital Light Process) 는 웨이퍼 또는 결합 웨이퍼의 표면에서 결함을 신속하게 감지하고 식별 할 수 있습니다. DLP 프로세스는 광학 이미징 시스템 (Optical Imaging System) 을 사용하여 빠른 속도로 샘플을 신속하게 검사하고 고해상도 이미지를 제공합니다. 이 프로세스 (process) 는 맨눈으로 감춰진 서피스의 결함을 식별하는 데 특히 유용합니다. FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TC에는 FPS (Frontal Probing Station) 도 장착되어 있습니다. 이것은 메모리 장치의 검사 및 방향을 위한 완전 자동화 장치입니다. FPS 는 정확도가 높은 작은 기능을 감지할 수 있으며, 수동 조사소 (manual probing station) 시간대의 일부분에서 장치를 정확히 감지하고 정위할 수 있습니다. 500TC는 또한 수율 향상, 균일성 향상을 위해 설계된 고급 단일 웨이퍼 오리엔테이션 머신 (single-wafer orientation machine) 을 갖추고 있습니다. 이 도구는 리소그래피, 에칭, 증착과 같은 프로세스 단계 전에 웨이퍼를 정확하게 배치하고 정렬합니다. FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TC는 반도체 테스트 및 도량형을 위한 비용 효율적이고 고성능 솔루션입니다. 완전 자동 진단 (Fully Automated Diagnostics) 은 프로세스 라인을 간소화하고 생산 수율을 보장하는 추가 품질 제어 기능을 제공합니다. 또한, 높은 정확도와 해상도를 통해 연구, 개발, 상업적 생산에 이상적인 툴이 됩니다.
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