판매용 중고 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L C2C #293624609
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ID: 293624609
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Film stress measurement system, 12"
SECS / GEM
Integrated wafer substrate
2D and 3D wafer mapping
Brooks robot
(2) FOUP front load
Power supply: 120VAC, 20AMP, Single phase
2002 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L C2C는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 장비입니다. 반도체의 전기 특성을 측정하고 분석하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 웨이퍼 처리 단계, C2C 이미징 및 전기 테스트 모듈, 도량형 모듈로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 단계를 통해 웨이퍼를 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 웨이퍼를 1.2 미터까지 옮길 수 있으며 최대 200mm, 300mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 단계는 또한 테스트 과정에서 온도와 습도를 조절하는 데 도움이됩니다. C2C 이미징 및 전기 테스트 모듈에는 웨이퍼의 C2C 이미지를 캡처하는 CCS (Contactless Current Sensor) 가 포함되어 있습니다. 또한 CCS 는 일시적 인 전류 신호 를 만들어 내는데, 이 신호 는 유출, 고장, 기타 이상 과 같은 "반도체 '장치 특성 을 측정 하는 데 사용 된다. 도량형 모듈은 SEM 이미징 및 자동 웨이퍼 스캐닝을 사용하여 개별 반도체 요소의 크기, 위치, 모양을 측정하고 분석합니다. 이 모듈은 또한 데이터 무결성 자동 검사 (Automated Data Integrity Check) 를 수행할 수 있으므로, 수집된 측정값과 데이터를 정확하고 안정적으로 확인할 수 있습니다. FSM 128L C2C 장치는 양질의 데이터와 웨이퍼 (wafer) 조건에 대한 철저한 분석을 제공하기 때문에, 반도체 부품을 테스트하기 위한 훌륭한 도구입니다. 이 기계는 또한 빠르고 쉬운 웨이퍼 로딩, 뛰어난 이미징 기능, 자동 도량형 측정을 제공합니다. 이 모든 기능은 매우 정확하고 안정적인 결과를 제공하므로 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 에 이상적인 솔루션입니다.
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