판매용 중고 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128 #9191053

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ID: 9191053
빈티지: 2000
Film stress measurement system 2000 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128은 반도체 웨이퍼 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. FSM 128은 반도체 기판 또는 웨이퍼에서 집적 회로의 중요한 장치 특성을 측정하는 데 사용되는 다이 투 다이 테스트 및 도량형 시스템입니다. 완전 자동 웨이퍼 정렬 장치 (Fully Automated Wafer Alignment Unit) 를 사용하여 웨이퍼를 정확하고 빠르게 배치합니다. 이 기계에는 4 점 프로브, 광학 현미경 카메라 및 CCD 백사이드 카메라가 포함되어 있으며, 이 카메라는 다이 크기, 높이, 무게 중심, 피치 등 다양한 중요한 웨이퍼 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 4 점 프로브는 다이 두께와 다이 저항을 측정합니다. 현미경은 다이 (die) 의 광학 검사를 수행하여 브리지 (bridge), 오픈 (open), 쇼트 (shorts) 와 같은 구조적 결함을 식별하는 데 사용됩니다. 뒷면 "카메라 '는 이물질 오염 을 위한 뒷면" 이미지' 와 다른 표면 혹은 표면 의 결함 을 캡처 하고 분석 하는 데 사용 된다. 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구에는 정밀 제어, 비접촉 정렬 에셋이 포함 된 X-Y 단계가 포함됩니다. 이 모델은 웨이퍼를 프로브 (Probe) 와 현미경 위에 정확하게 안내하여 원하는 정보를 캡처합니다. 또한 강력한 제어 소프트웨어 (control software) 패키지가 포함되어 있어 테스트 매개변수를 쉽게 프로그래밍할 수 있으며 변조 방지 (Tamper-Proof) 사용자 인증 및 향상된 보안을 제공합니다. 프론티어 반도체 128 (FRONTIER SEMICONDUCTOR 128) 은 저온 데이터 획득을 특징으로하며, 주변 이하의 온도에서 침전성과 같은 온도 의존 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 고속 웨이퍼 테스트를 위해 설계되었으며, 다른 시스템보다 최대 3 배 빠른 테스트 시간을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 수많은 통신 인터페이스 (Communication Interface) 와 정교한 추적 능력 (Traceability) 이 포함되어 있어 안정적인 데이터 저장 및 검색, 테스트 결과의 정확한 반복성을 제공합니다. 이 기계는 또한 보정 도구 (calibration tool) 로 설계되어 테스트를 정확하게 계획하고 실행할 수 있습니다. 반도체 "웨이퍼 '를 경제적으로 테스트해 보면, 128 의 정확성과 능력은 타의 추종을 불허한다. 이 고급 웨이퍼 테스트 (advanced wafer testing) 및 도량형 자산 (metrology asset) 은 반도체 제조 공정에 필수적인 광범위한 중요한 장치 특성을 제공합니다.
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