판매용 중고 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128 #9188871
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ID: 9188871
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2005
Stress measurement system, 6"
FSM Stress gauge
2005 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128 장비는 반도체 웨이퍼에서 다양한 장치를 측정 및 검증하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 제품은 Wafer 매핑, 프로세스 제어, 그리고 집적 회로 및 optoelectronic 구성요소를 위한 고해상도, 자동화, 강력한 솔루션을 제공합니다. 이 장치에는 통합 된 진동 드라이브 및 위치 센서, 웨이퍼 스테이지, 다중 웨이퍼 홀더, 광학 현미경, LED 검사 광원, 이미지 캡처 및 분석 소프트웨어와 함께 통합 진동 격리가있는 스캔 암 어셈블리가 포함됩니다. 고속 스캔 암 및 다중 웨이퍼 홀더 구성은 최대 12 개의 단일 크기 웨이퍼 또는 4x2 이중 크기 웨이퍼를 동시에 수용 할 수 있습니다. 통합 현미경에는 정렬 감지 및 이미지 캡처를위한 LED 조명과 함께 고해상도 현장 깊이 광학이 포함되어 있습니다. 시편의 크기는 4mm에서 200mm 사이이며, 두 축에서 최대 1 미크론의 정확도입니다. 이미지를 시각화를 위해 8비트 또는 24비트 RGB 색상으로 표시할 수 있습니다. 이미지 분석의 경우, 기계는 다양한 측정 및 알고리즘을 사용하여 복잡한 구조를 정확하게 측정하고 분석합니다. 결함 감지 (defect detection) 또는 가시성 향상 (enhanced visibility) 을 위한 고급 알고리즘을 선택한 영역에 적용하여 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 대비 조정, 색상 감소, 에지 감지, 마스킹 등 다양한 이미지 필터링 기술도 지원됩니다. 이 툴은 종합적인 보고 기능을 제공하여 통계 (statistical) 및 진단 정보 (diagnostic information) 등, 웨이퍼 상태를 상세하게 보여줍니다. 또한 다양한 기준 기반 결함 정렬 및 재조정 가능한 결함 맵 (re-targetable defect map) 등 다양한 사후 처리 및 데이터 분석 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 FSM 128 자산은 자동화된 생산 프로세스 (production process) 및 칩 개발 (chip development) 에 사용되도록 설계된 다용도 및 고가용성 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구이며, 웨이퍼 상태에 대한 상세한 분석 및 보고서를 작성할 수 있습니다. 고해상도 광학 현미경과 LED 광원 (LED light source) 의 결합과 첨단 이미징 및 분석 기능으로 현대 반도체 기술의 핵심 요소로 자리잡았다.
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