판매용 중고 FRT MicroProf TTV200 #9390955

FRT MicroProf TTV200은 반도체 제조 산업의 박막 및 기판 미세 구조를 분석하기 위해 설계된 비 접촉, 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이중 광학 시스템, 4 축 동력 단계 및 고급 소프트웨어 플랫폼이 특징입니다. 시스템의 중심에는 두 개의 광학 시스템이 있습니다. 하나는 샘플의 필름 두께를 분석하고, 다른 하나는 마이크로 스케일 표면 피쳐를 측정하는 데 사용됩니다. 필름 두께 기계는 편광 된 레이저 소스 및 CCD 기반 감지 도구를 사용합니다. 기존의 광학 시스템보다 정확성과 동적 범위 (dynamic range) 로 샘플의 필름 두께에 대한 고정밀 측정을 제공합니다. 표면 도량형 자산은 미세 구조의 미세 또는 나노 스케일 (nano-scale) 특징의 표면 지형 또는 질감을 측정하는 데 적합합니다. 고해상도 레이저 공백 현미경을 사용하여 표면 특징의 상세한 3D 프로파일을 얻습니다. 그런 다음, 소프트웨어 제어 이미징 알고리즘을 사용하여 피쳐를 구분하고 거칠기 (roughness) 와 형태 (form) 와 같은 형태 매개변수를 결정합니다. MicroProf TTV200은 또한 4 축 동력 스테이지를 갖추고 있으며, 광범위한 웨이퍼 직경을 통해 측정 할 수 있습니다. "포지셔너 '의 정확성 은 매우 정확 하여 빠르고 효율적 인" 샘플' 테스트 를 할 수 있다. 직관적인 소프트웨어 플랫폼은 데이터 수집 및 분석을 바람직하게 만듭니다. 종합적인 측정 및 데이터 시각화 (Data Visualization) 툴을 통해 사용자는 샘플 구조의 정확하고 상세한 측정을 얻을 수 있습니다. 결론적으로 FRT MicroProf TTV200 비 접촉, 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 박막 및 마이크로 구조에 대한 고정밀도, 상세하고 안정적인 측정을 제공합니다. 이중 광학 시스템, 고해상도 이미징 알고리즘, 4 축 모터 스테이지 및 직관적 인 소프트웨어 플랫폼이 특징입니다.