판매용 중고 FRT MicroProf TTV200 #293657324
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ID: 293657324
빈티지: 2011
Flatness measuring system
Wafer testing and metrology
(2) Chromatic sensors FRT CWL 600 pm
XY Stage: 250 x 200 mm²
Sensor coarse approach
Motorized linear axis
Video view
Granite base plate
Computer and electronics unit
Operating manual
2011 vintage.
FRT MicroProf TTV200은 FRT GmbH가 인라인 및 엔지니어링 목적으로 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 전체 테스트 범위를 위해 4 ~ 6 개의 축 웨이퍼 단계를 갖춘 이 시스템은 자동화된 광, 지형, 전기 및 통계 프로세스 제어를 제공합니다. 다양한 샘플 유형 (sample type) 과 호환되는이 장치의 단면 테스트 헤드 (single-side test head) 를 사용하여 웨이퍼의 앞면과 뒷면에서 동시에 측정할 수 있습니다. 기계의 Metrology Core는 Fizeau Interference를 사용하여 LSI (Linewise Scanning Interferometer) 및 Triple-axis Vision Sensor로 구동되며 마이크로 미터 범위의 검사를 제공합니다. 이 도구로 매우 구조화 된 웨이퍼도 구성 덕분에 측정 할 수 있습니다. 또한 자산의 전기 테스트 기능은 UHT (Ultra High Throughput) 가있는 miniscule 4x4mm Probe 카드로 보완되며 비교할 수없는 테스트 정확도를 제공합니다. MicroProf TTV200은 이미지 처리 장치 및 개방형 API (Application Programming Interface) 를 통해 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 모델의 개방형 API (open API) 는 맞춤형 애플리케이션을 위한 강력한 툴로서, 장비의 추가 개발을 위한 높은 잠재력을 제공합니다. 10 Gigabit Ethernet Image Streaming 인터페이스와 Gigalink Flux Streaming 인터페이스를 통해 이미지 캡처 속도를 극대화하여 빠른 테스트와 깨끗한 데이터 전송을 보장합니다. 또한 맞춤형 애플리케이션 요구 사항에 맞게 최적화된 웨이퍼 매핑을 제공합니다. 이 기능은 전동 웨이퍼 단계 및 RPC (Rotational Path Correction) 알고리즘을 사용합니다. 이 장치는 80 ~ 200 m 라인을 측정 할 수 있으며, 고해상도 이미지 캡처 기능으로 이음새 및 기타 가시 기능을 측정하는 데 이상적입니다. 마지막으로 FRT MicroProf TTV200은 수많은 다른 기능을 갖춘 종합 패키지입니다. 이 기계는 레인-레인 비교 및 통계, 프로세스 최적화 및 개발을 지원합니다. 간편하고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해, 이 도구는 설치 및 사용이 용이하여 웨이퍼 테스트와 도량형의 생산성을 극대화할 수 있습니다.
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