판매용 중고 FRT MicroProf TTV200 #293607223
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ID: 293607223
Flatness measuring system
(2) Chromatics sensor CWL 600 µm
With electronis interface
X, Y Stage: 200x250 mm
Sensor coarse approach
With motorized linear axis
Video view
Granite base plate
PC
Electronics unit
Manual.
FRT MicroProf TTV200은 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 가장 까다로운 반도체 제작 및 연구 응용프로그램을 위해 설계되었습니다. 최첨단 하드웨어 (HWS) 와 소프트웨어 (Software) 기술을 결합한 이 시스템은 웨이퍼 (Wafer) 의 전기/광학 특성을 매우 정확하고 정밀하게 측정할 수 있습니다. TTV200은 다중 축 단계를 매우 정확한 전동 x-y-z 위치 지정과 통합합니다. 이를 통해 기계는 전체 웨이퍼를 정확하고 신속하게 스캔하고 다른 지점 주위를 이동 할 수 있으며, 고해상도 센서 (High-Resolution Sensor) 는 테스트 지점을 측정하는 데 사용되며, 반복 성은 ± 1.1 µm입니다. 이 도구에는 정밀 선형 레이저 간섭계와 고해상도 CCD 카메라도 있습니다. TTV200은 도량형 설정 및 데이터 분석을 단순화하는 ERWE-EDGE 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어 패키지는 저항, 전압, 전류 전압, 발광 및 휘도를 포함한 자동 파라 메트릭 측정을 통합합니다. FRT는 또한 다양한 테스트 및 측정에 대한 다양한 테스트 액세서리 (예: 프로브, 바늘 및 Fiber Optic 케이블) 를 제공합니다. 또한 TTV200에는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 가 장착되어 있어 실시간으로 결과를 시각화할 수 있습니다. 이렇게 하면 테스트 주기 동안 장애 지점 또는 기타 문제를 즉시 식별할 수 있습니다. 이와 함께, 자산은 고급 웨이퍼 검사에 머신 비전 시스템 (machine vision system) 을 사용할 수 있으며, 최고 300 유로의 뛰어난 시야를 제공합니다. 전반적으로 MicroProf TTV200은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 매우 다양하고, 강력하며, 신뢰할 수있는 모델입니다. 포괄적인 소프트웨어 패키지와 고급 하드웨어 (Advanced Hardware) 를 통해 결함을 빠르고, 정확하게 파악하고, 분석하고, 운영 프로세스를 개선할 수 있습니다.
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