판매용 중고 FOUR DIMENSIONS FPP 100 #9123948
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4 차원 FPP 100 웨이퍼 테스트 (FOUR DIMENSIONS FPP 100 wafer testing) 및 도량형 장비 (metrology equipment) 는 특수 하드웨어와 컴퓨터 소프트웨어의 조합을 사용하여 나노미터 척도의 웨이퍼 및 기타 재료의 특성을 측정하는 다용도 장치입니다. 시스템은 결함 검사, 두께 측정, 서피스 지형, 임계 치수 (CD) 측정과 같은 작업을 수행할 수 있습니다. FPP 100은 고해상도 현미경, 정교한 스캐닝 단계, 다른 기질에 쉽게 최적화 할 수있는 측정 플랫폼으로 구성되어 있습니다. FOUR DIMENSIONS FPP 100의 중심에는 고해상도 현미경이 있습니다. 고해상도 현미경은 장치의 중추이며 자동 스위칭 머신이 장착되어 있습니다. "마이크로스코프 '는 서로 다른 두 가지 배율 을 신속 히 전환 시켜 전체" 웨이퍼' 를 신속 하고 효율적 으로 검사 할 수 있다. 또한, 현미경은 장거리 분포를 올바르게 평가하기에 충분한 선명도를 갖춘 최대 +/-0.5äm 해상도의 이미지를 제공합니다. 웨이퍼의 표면 지형을 정확하게 측정하기 위해 FPP 100은 XYZ 스캐닝 (XYZ Scanning) 으로 알려진 정교한 스캐닝 단계를 사용합니다. 이 도구를 사용하면 x, y, z 방향의 웨이퍼를 정확하게 이동할 수 있으며, 이로써 지형이 작은 단위로 정확하게 샘플링됩니다. 또한, 스캐닝 에셋은 상대적으로 낮은 배율을 사용하여 드라이브 (drive force) 가 낮게 유지되므로 측정 중 손상 위험을 줄입니다. 마지막으로, 정교한 측정 플랫폼을 갖춘 FOUR DIMENSIONS FPP 100은 정밀도 및 효율성으로 웨이퍼의 측면 및 수직 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 플랫폼에는 다크 필드/브라이트 필드 시각 검사, 전송 전자 현미경 (TEM), 분광 타원법 및 기타 다양한 기술과 같은 특수 도구가 장착되어 있습니다. 전문 알고리즘을 사용하여 결함 검사를 수행 할 수 있습니다. 요약하면, FPP 100 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology model) 은 정교한 하드웨어와 소프트웨어를 사용하여 웨이퍼 및 기타 재료의 특성을 측정하는 강력한 장치입니다. 특수 이미징 및 스캐닝 시스템을 사용하여 FOUR DIMENSIONS FPP 100은 웨이퍼 서피스 지형, 두께 및 임계 치수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 장비에는 다양한 측정 및 검사 기술이 적용되어 다양한 나노 미터 스케일 (nanometer-scale) 측정 작업을 처리 할 수있는 다목적 도구입니다.
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