판매용 중고 FOUR DIMENSIONS CV92-A #9256566
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ID: 9256566
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2007
Mercury probe CV mapper, 6"
Specification:
Capacitance measurement range: 0 to 20 nF
Current measurement range: 50 fA to 1 ma
C-V Bias available: -100 to +100 V
Measurement pulse: 50 mV, 100 mV, 150 mV >20 μs for Ch>1s for Cq
Wafer size: From 1 cm x 1 cm square chip to 8” round wafer
Probe: Mercury dot (dot area from 2E-5 cm² to 0.8 cm²)
Probe return: Through mercury ring wafer back or external connection
Compressed dry air: 60 psi minimum
Vacuum: 28" Hg minimum
Power supply damaged
2007 vintage.
4 차원 CV92-A 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비 (FOUR DIMENSIONS CV92-A Wafer Testing and Metrology Equipment) 는 고급 광학, 전자 및 기계 기능을 결합한 효율적인 웨이퍼 검사 및 도량형을 위한 고급 자동 솔루션입니다. 이 시스템은 중앙 제어 장치, 다수의 테스트 랙 및 XYZ 자동 제어 (automated control-edged) 플랫폼으로 구성됩니다. 4 차원 평가는 웨이퍼의 앞면 및/또는 뒷면에서 효과적인 측정을 제공하여 완전한 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 이 장치의 중앙 제어 장치 (Central Control Unit) 에는 컴퓨터의 설정과 기능을 직접 제어하는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 이를 통해, 운영자는 정지된 측정 결과를 모니터링하고, 완전한 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 자동 스캐닝 패턴을 설정할 수 있습니다. 이 도구의 자동화는 여러 개의 연속 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 측정하여 기능을 더욱 향상시킵니다. 테스트 랙은 웨이퍼의 정확하고 안정적인 테스트를 위해 반복 가능한 플랫폼을 제공합니다. "랙 '들 은 여러 가지" 테스트' 도구 를 빠른 교정 으로 한꺼번에 적재 및 시험 할 수 있는 특별 한 설계 를 가지고 있다. 이 자산에 사용할 수있는 테스트 도구에는 레이저 간섭계, 디지털 현미경, 원자력 현미경, 전기 전위 미터 및 3 차원 스캐너가 포함됩니다. XYZ 자동 제어식 플랫폼 (Automated Control Edged Platform) 은 반복 가능하고 안정적인 웨이퍼 플랫폼을 제공하여 테스트 랙이 여러 웨이퍼에서 테스트 및 도량형 작업을 수행 할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 (Wafer) 및 대규모 웨이퍼 스캐닝 (Wafer Scanning) 모두에 적합한 높은 정확도 제어 해상도를 갖습니다. 이 플랫폼은 웨이퍼에 필요한 안정성 (stability) 과 동작 제어 (motion control) 를 제공하는 진공 (vacuum) 모델이있는 이동식 암으로 구성됩니다. 이 플랫폼에는 웨이퍼 (wafer) 를 식별하고 표시하고, 정렬을 제어 및 조정하는 카메라가 추가로 장착되어 있습니다. 4 차원 CV92A는 고급 광학, 전자 및 기계 기능을 포함하는 완전한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 독보적인 설계를 통해 여러 개의 연속 웨이퍼 (wafer) 를 측정하여 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 또한 장치 설정을 직접 제어하는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface), 특수 설계 테스트 랙 (Special Design Test Rack) 및 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형에 필요한 안정성을 제공하는 XYZ 자동 제어 방식 플랫폼 (XYZ Automated Control Edged Platform) 이 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 CV 92A를 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로 만듭니다.
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