판매용 중고 FOUR DIMENSIONS 280SI #9299829
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ID: 9299829
웨이퍼 크기: 8"
Resistivity mapping system, 8"
Meter: 1 MOhm to 800 kOhm
Range: Up to 8 x 1011 W/sq.
FOUR DIMENSIONS 280SI 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 장치의 정확한 특성화를위한 최첨단 도구입니다. 이 시스템은 중요한 전기 및 재료 특성 (electrical and materials properties) 을 정확하게 측정하여 빠르고 효율적인 프로세스 최적화에 적합합니다. 이 장치에는 저항성 이미징 어레이 (Resistivity Imaging Array) 및 전기력 현미경 수집을위한 4 차원 표면 전위 검출기 (Surface Potential Detector) 를 포함한 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 이 센서는 함께 작동하여 전례없는 수준의 공간 해상도 (spatial resolution) 와 높은 정확도를 측정합니다. 또한, 이 기계에는 테스트 웨이퍼의 광학 측정을위한 고급 이미징 도구가 포함되어 있습니다. 이 에셋을 통해 사용자는 오버레이 패턴의 공간 분해 (spatially-resolved) 측정과 정렬 및 포커스 제어를 수행할 수 있습니다. 이 모델은 또한 짧은 시간 내에 빠른 테스트 및 도량형을 수행 할 수 있습니다. 이는 '빠른 스위칭 필드 이미징 (switching field imaging)' 장비가 포함되어 있어 단시간 내에 대용량 이미징 영역을 캡처할 수 있기 때문이다. 추가 제어 및 데이터 분석을 위해 280SI에는 포괄적인 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이러한 패키지는 시스템의 다양한 매개변수를 제어하고, 데이터를 분석하고, 보고서를 생성하고, 실험 결과를 해석하도록 설계되었습니다. 또한 포함된 NIST 소프트웨어 라이브러리 (included NIST software library) 는 사용자에게 장치의 매개변수를 보정하는 데 사용할 수 있는 도구 세트를 제공합니다. 마지막으로, 시스템은 안정성과 사용자 친화성에 최적화되어 있습니다. 이 툴에는 자체 진단 (self-diagnostics) 및 자동 오류 수정 (automatic error correction) 기술이 포함되어 있어 정확한 성능을 보장하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 성능 제어 및 모니터링 프로세스를 간소화하는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 정확하고 안정적인 테스트 및 도량형 (metrology) 을 빠르고 안정적으로 수행할 수 있습니다.
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