판매용 중고 FOUR DIMENSIONS 280 #9276884

FOUR DIMENSIONS 280
ID: 9276884
Prober.
FOUR DIMENSIONS 280은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 지형, 오버레이, 라인 너비, 마이크로 결함 분석, 리소그래피, 결함 검토, 장치 제작의 기타 중요한 매개변수 등의 웨이퍼 특성에 대한 정확한 비접촉 측정을 제공합니다. 280 시스템은 고속 웨이퍼 도량형으로 설계되었습니다. 다중 빔 옵티컬 헤드 (Optical Head), 다중 리플렉터 옵틱 (Multiple-Reflector Optic), 고해상도 이미징 기능을 통해 가장 까다로운 측정 요구 사항을 충족할 수 있는 모듈식 설계가 있습니다. 이 단위는 선 너비를 측정 할 때 최대 0.1 나노 미터, 오버레이를 측정 할 때 최대 1 나노 미터의 정확도를 달성합니다. 자동 스캔 패턴은 반복 가능한 측정 결과를 보장합니다. 기계의 고급 도량형 기능은 고급 소프트웨어에 의해 더욱 향상되었습니다. 여기에는 광 및 SEM 데이터를 하나의 단일 보고서에 결합하는 상관 도량형 프로그램과 Z 프로파일링, 자동 초점 (autofocus) 등의 도구를 갖춘 고급 오류 분석이 포함됩니다. 이 고급 기능은 도량형 프로세스를 가속화하고 측정 정확도를 향상시킵니다. FOUR DIMENSIONS 280 도구는 또한 SPC 시스템과의 완벽한 통합을 통해 운영자가 사양에 대한 웨이퍼를 신속하게 평가하고 필요한 수정 작업을 수행할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 운영자가 자산을 쉽게 사용하고 원하는 측정 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 모델의 고급 경보 장비 (advanced alarm equipment) 는 운영자가 중요한 프로세스 변수를 모니터링하고 편차의 경우 수정 조치를 취하도록 도와줍니다. 280은 고정밀도 및 고해상도 이미징 기능으로 자동 웨이퍼 테스트에 적합합니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 요구 사항을 수용할 수 있으며, 강력한 도량형 기능은 정확하고 반복 가능한 측정을 보장합니다. 이 시스템의 고급 소프트웨어 (advanced software) 와 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 운영자의 생산성을 손쉽게 활용하고 극대화할 수 있습니다. FOUR DIMENSIONS 280은 복잡한 웨이퍼 특성을 분석하기위한 효율적이고 안정적인 도량형입니다.
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