판매용 중고 FOUR DIMENSIONS 280 #200802

FOUR DIMENSIONS 280은 박막 증착 및 기판 특성을 분석하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 균일성, 두께, 거칠기, 스트레스, 박막 구성의 매우 정확한 측정을 제공 할 수 있습니다. 이 장치에는 멀티 센서 표면 특성, 다차원 스캔, 고급 데이터 획득 및 요약 알고리즘과 같은 강력한 기능이 있습니다. 280의 핵심 요소는 다양한 기판 및 샘플 크기로 샘플링하기위한 정확한 단계 이동을위한 X-Y 단계입니다. 고급 스테이지 관리 시스템은 고급 닫힌 루프 컨트롤러로 제공됩니다. 이 도구에는 6축 서피스 스캐닝 (surface scanning) 기능도 포함되어 있으며, 정교한 도량형 소프트웨어의 도움으로 박막 표면 및 컴포지션의 세부 특성을 지정할 수 있습니다. 에셋에는 석영 검출기, 광다이오드, Ellipsometry 검출기 및 광학 분광계와 같은 여러 가지 센서가 장착되어 있습니다. 석영 검출기는 얇은 필름의 두께와 조성을 측정하는 반면, 광다이오드는 샘플에서 반사된 빛을 측정합니다. 타원 측정법 (Ellipsometry detector) 은 샘플에서 빛의 위상과 편광을 측정하며, 이는 얇은 필름에서 응력과 결정성을 측정하는 데 유용합니다. 광학 분광계는 샘플 서피스의 치수와 반사도를 측정합니다. FOUR DIMENSIONS 280은 고성능 그래픽 하드웨어와 포괄적인 소프트웨어 툴로 구동되는 데이터 획득/분석 툴을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 박막 (Thin Film) 또는 기판의 추가 특성화를위한 고급 데이터 후처리 및 이미지 재구성 도구가 포함되어 있습니다. 280 장비에서 얻은 데이터는 그래픽, 텍스트, 통계, 수치 등 다양한 분석 형식으로 표시 될 수 있습니다. 시스템의 종합적인 그래픽 표현 (Graphical Representation) 기능을 통해 사용자는 수집된 데이터를 쉽고 빠르게 해석할 수 있습니다. 이 데이터는 샘플 특성, 프로세스 매개변수 (process parameters) 또는 수정 조치 구현 (implementation of corrective action) 에 대한 결정을 내리는 데 사용될 수 있습니다. 요약하면, FOUR DIMENSIONS 280 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치는 정밀 박막 및 기판 특성에 적합한 귀중한 솔루션입니다. 고급 데이터 획득 및 분석 툴과 멀티 센서 특성 (multi-sensor characterization), 스캐닝 (scanning), 후처리 (post-processing) 기능을 갖춘 이 기계는 박막 증착 및 기판 특성을 분석하고 분석하는 데 효과적이고 안정적인 도구입니다.