판매용 중고 FORCE Step-4 #9059527

FORCE Step-4는 고급 반도체 장치의 종합적인 물리적, 전기적, 광학적 분석 데이터를 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소, 즉 정밀 동작 제어 장치 (precision motion control unit) 와 고급 도량형 기계 (advanced metrology machine) 로 구성됩니다. 동작 제어 도구는 위치, 회전 및 크기를 제어하는 10 개의 3 축 단계로 구성됩니다. 한 샘플에서 여러 매개변수를 측정하는 프로세스 전반에 걸쳐 정밀한 정렬, 스캐닝 (scanning) 및 강력한 처리 (handling) 를 보장합니다. 고급 도량형 자산은 전자 빔 현미경, 레이저 스캔 장치, 전기 레이저 프로파일러, 광학 분광기 및 스핀 코팅 모듈로 구성됩니다. 전자 빔 현미경 (electron beam microscope) 은 테스트 중 웨이퍼의 고해상도 이미지를 제공하며, 표면 지형을 측정하고 결함을 검사하는 데 사용될 수있다. 레이저 스캔 장치를 사용하면 빠른 서피스 매핑 (rapid surface mapping) 및 서피스 피쳐의 전체 특성을 지정할 수 있습니다. 전기 레이저 프로파일러 (electric laser profiler) 는 서브 미크론 측정 정확도를 허용하며, 특히 미세 응력 그라디언트를 특성화하거나 표면 맵의 해상도를 향상시키는 데 좋습니다. 광학 분광계는 웨이퍼 표면에서 다른 재료 레이어를 특성화할 수 있습니다. 마지막으로, 스핀 코팅 모듈 (spin coating module) 은 웨이퍼 (wafer) 에 균일 한 재료 레이어를 적용하여 이러한 레이어를 추가로 분석 할 수 있도록 합니다. 또한 Step-4 에는 Wafer 를 자동으로, 정확하고, 반복적으로 분석할 수 있는 다양한 소프트웨어 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 도구는 데이터 필터링 (data filtering) 과 같은 기본 통계 분석 도구에서 참조 데이터베이스와 연관된 복잡한 분석 (complex analysis) 에 이르기까지 다양합니다. 최신 GUI (그래픽 인터페이스) 와 최적화된 측정 절차를 통해 이 소프트웨어는 매우 효율적이고 사용자 친화적입니다. FORCE Step-4는 웨이퍼 테스트 및 도량형 결과의 최대 안정성과 반복 성을 위해 설계되었습니다. 데이터 품질 관리 (Data Quality Control) 에 대한 업계 표준을 준수하며 모든 운영 제품군에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 모델은 반도체 고성능 장치 개발 (HPD) 개발과 생산 분야를 위한 강력하고 필수적인 도구이며, 이미 전 세계 주요 업계에서 사용되고 있습니다.