판매용 중고 FISCHER Betascope #9246202

FISCHER Betascope는 FISCHER Instruments의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 박막 (Thin Film) 및 웨이퍼 도량형 (Wafer Metrology) 과 관련된 광범위한 매개변수를 측정하고 분석하도록 설계되었습니다. 고해상도 광학 간섭계 (Optical Interferometer) 와 광검출기 (Light Detector) 의 장점을 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 서피스에서 레이어 두께 (layer thickness), 서피스 평면 (surface planarity), 피쳐 형상 (feature geometry), 오염 물질 (contaminant) 등 다양한 피쳐를 감지할 수 있습니다. 이 장치는 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 을 사용하여 웨이퍼 서피스의 모양과 기타 피쳐를 검색합니다. 또한 다크 필드 이미징, 밝은 필드 이미징, 대비 이미징, 광학 프로빙 등 다양한 조명 방법을 사용합니다. 기계 에는 빛 회절 장치 (light diffraction unit) 가 있는데, 이 단위 는 입사 광선 으로부터의 간섭 (interfering) 패턴 을 측정 하여 웨이퍼 표면 의 특성 을 측정 하는 데 사용 된다. 이 툴에는 이미지 향상 (Image Enhancement) 및 자동 분석 (Automated Analysis) 을 위한 이미지 처리 소프트웨어가 포함되어 있으며 실시간으로 수행할 수 있습니다. 베타 스코프 (Betascope) 는 또한 접촉하지 않는 표면 층 측정, 접촉이없는 모양 분석, 접촉하지 않는 수치 모양 분석, 고급 다이 투 다이 표면 피쳐 측정 등 다양한 도량형 옵션을 제공합니다. 이 자산은 웨이퍼 (wafer) 에서 3 차원 피쳐의 특성화에 사용되어 수율을 향상시킬 수도 있습니다. 또한, 이 모델에는 웨이퍼의 결함 또는 기타 표면 이상을 감지하는 강력한 자동 시각 검사 장비 (Automatic Visual Inspection Equipment) 가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 통합 로봇 암 (robotic arm) 과 자이로 스코프 (gyroscope) 가있는 자동 웨이퍼 처리 장치도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 기계가 자동으로 웨이퍼 (wafer) 의 임의의 지점으로 이동하여 샘플의 특성을 테스트할 때 정확하고 반복 가능한 동작 제어 (motion control) 를 제공합니다. FISCHER Betascope 툴은 데이터 수집, 저장, 처리 및 보고를 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 자산의 사용자 인터페이스 (user interface) 는 사용하기 쉽고, 고객의 특정 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 수집된 데이터는 웨이퍼 (wafer) 의 물리적 특성과 성능에 대한 분석, 최적화, 품질 관리 등에 사용될 수 있습니다.