판매용 중고 FILMTEK 2000M #9329120
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ID: 9329120
Benchtop metrology system
For NIKON Eclipse L200
Measurement spot sizes: <2µm
NIKON LHS-H100P-1
Objectives:
NIKON LU Plan 10x / 0.30, 50x / 0.55
CF Plan 100x / 0.73
VIEWERA TFT LCD Monitor, 17’’
DELL BOSTRO Desktop
Joystick
Stage, 8".
FILMTEK 2000M은 웨이퍼 결함을 신속하게 식별하기 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고유한 다중 형식 트레이 테스트 시스템을 갖추고 있으며, 최대 10 개의 웨이퍼 (및 최대 300 개의 테스트 사이트) 를 동시에 지원하고 수동 객체 스왑 아웃이 필요 없습니다. 2000M은 photoresist 측정, 오버레이 측정, 필름 두께 측정, 자동 초점 및 임계 치수 (CD) 측정을 포함하여 다양한 고급 웨이퍼 테스트 기능을 자랑합니다. 폴리실리콘, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI), 게르마늄 및 알루미늄을 포함한 광범위한 웨이퍼 재료를 측정 할 수 있습니다. 측정 범위가 0.03 미크론 (2 미크론 해상도) 이고 선형이 0.5% 인 FILMTEK 2000M은 대부분의 웨이퍼 검사 및 도량형 작업에 필요한 정확성을 갖습니다. 2000M은 웨이퍼 결함 분석 (wafer defect analysis) 을 위한 강력한 데이터 분석 패키지를 포함하여 다수의 플러그인을 지원합니다. 즉, 포괄적인 소프트웨어 제품군과 통합되어 다양한 맞춤형 테스트 (custom test) 를 개발, 실행하여 신속하게 결과를 분석할 수 있습니다. 또한 3D 옵티컬 유닛이 포함되어 있어 뛰어난 해상도와 뛰어난 화질을 제공합니다. 이 기계에는 직관적인 사용자 친화적 메뉴가 있는 터치스크린 제어판 (Touchscreen Control Panel) 과 웨이퍼 서피스에 대한 탁월한 개요를 제공하는 디스플레이 (Display) 가 포함되어 있습니다. 고급 하드웨어/소프트웨어 아키텍처는 높은 이미징 및 측정 속도를 지원하는 반면, 고급 신호 처리 알고리즘은 정확한 결과를 보장합니다. FILMTEK 2000M은 미션 크리티컬 어플리케이션의 안정성을 위해 설계되었습니다. 강력한 구성, 진동 및 충격 방지 구성 요소 및 닫힌 루프 서보 모터 축 드라이브가 특징입니다. 또한 높은 수준의 자동화를 처리하도록 설계되었습니다. 이 도구는 속삭임 (whisper-quiet) 이며 열 서명은 사실상 존재하지 않으므로 확장 테스트 기간 동안 사용자의 편안함을 보장합니다. 2000M은 사용 가능한 가장 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다. 탁월한 성능과 정확성으로 인해 프로세스 개발 (process development), 누수 테스트 (leak testing), 반도체 웨이퍼 제작 (semiconductor wafer fabrication) 등 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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