판매용 중고 FILMETRICS Profilm 3D #293622627

ID: 293622627
Thickness measurement system Optical profiler with VSI Autofocus 4-Position turret Auto stage, 100 mm x 100 mm Profilm data acquisition Vibration isolation: Accurion Nano30 Objective lens: 10x NIKON Mirau Interferometric 50x NIKON Mirau Interferometric.
FILMETRICS Profilm 3D는 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 사용자는 두께 및 박막 두께, 증착률, 통합 스트레스 등을 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 넓은 시야를 가지고 있으며 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. " 2D 이미징 장치 (2D imaging unit) 를 사용하여 필름 지형의 고해상도 이미지를 캡처한 다음 표면의 3D 맵을 생성합니다. 그런 다음이 맵은 필름 두께를 계산하기 위해 분석되며, 최대 4 미크론까지 정확합니다. 기계는 또한 증착율, 굴절률, 통합 응력과 같은 필름 특성을 측정합니다. 닫힌 루프 피드백 루프를 사용하면 자동화된 증착 최적화를 위한 실시간 피드백을 수행할 수 있습니다. Profilm 3D Tool은 사용이 편리하도록 설계되었으며, 포괄적인 제어, 측정, 분석 소프트웨어를 통해 사용자가 프로세스를 측정, 분석, 최적화할 수 있도록 지원합니다. 이 소프트웨어에는 데이터를 저장, 분석하는 통합 데이터베이스 (Integrated Database) 와 데이터 분석 매개변수에 액세스하고 관리하는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 이 자산에는 사용자에게 의미있는 결과를 제공하기 위해 자동 보고서도 제공됩니다. 보고서에는 데이터 평균, 그래프, 히스토그램 등이 포함되며, 이를 화면에서 보고 파일로 내보낼 수 있습니다. 또한 모델 설정 마법사 (Model Setup Wizard) 는 일련의 단계를 통해 구성을 용이하게 하며, 이를 통해 사용자는 최적의 성능과 정확도를 위해 장비를 신속하게 구성할 수 있습니다. FILMETRICS Profilm 3D 시스템은 반도체, 의료, 태양 광 및 광학 산업의 다양한 응용 프로그램으로 웨이퍼에 대한 테스트 및 도량형에 이상적인 솔루션입니다. 높은 정확도, 반복 가능한 결과, 사용 편의성 때문에 Profilm 3D 장치는 모든 자동화 머신에 적합한 선택입니다.
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