판매용 중고 FILMETRICS F50R #9396056

ID: 9396056
Thin film analyzer.
FILMETRICS F50R 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비 (FILMETRICS F50R Wafer Testing and Metrology Equipment) 는 인상적인 정확도로 하위 미크론 수준의 웨이퍼에서 박막 패턴의 비접촉, 비파괴적 형식을 측정하도록 설계된 고급형 반도체 장비입니다. 고정밀, 레이저 기반 광학 센서를 사용하여 측정 된 웨이퍼 표면을 신속하게 스캔하고, 불완전한 평면도 및 웨이퍼 곡률 (wafer curvature) 로 인해 동작 오류를 보상합니다. 강력한 전동식 XYZ (Power Motorized XYZ) 단계는 일관된 스캔을 위해 안정적인 플랫폼을 확보하여 결과의 신뢰성을 향상시킵니다. 포함된 소프트웨어인 FJX-Scan 은 사용하기 쉽고 포괄적인 데이터 분석/보고 기능을 제공합니다. 선 너비, 두께, 지형, 높이, 기울기 각도와 같은 웨이퍼의 피쳐를 측정하도록 제작되었습니다. 또한 소프트웨어의 고대비 (high-contrast) 이미지 처리 알고리즘을 사용하면 다층 박막의 두께를 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 표본 식별 및 추적 능력을 돕는 스냅 샷 이미지 (snap-shot image) 용 통합 카메라가 장착되어 있습니다. 이 장치의 코어 옵틱 (core optics) 은 파장과 전력 모두에서 조정 가능한 조정 가능한 레이저 다이오드 모듈과 함께 반도체 등급 현미경 렌즈로 구성됩니다. 120mm 시야와 빠른 스캐닝 속도 (최대 44 mm/s) 로, F50R은 높은 처리량 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 배율 설정 (최대 x50) 이 여러 개인 경우, 정밀도가 중요한 산업 응용 프로그램의 측정 정확도를 높일 수 있습니다. FILMETRICS F50R의 다른 주목할만한 기능으로는 자동 픽셀 사이징, 통합 2D 스티칭 및 피크 감지 알고리즘이 있습니다. 기계의 많은 기능은 포함 된 전면 패널 컨트롤 패드에서 제어 할 수 있지만, 일부 고급 기능 (예: 사용자 정의 보정 데이터) 은 외부 장치를 통해 제어 (control) 할 수 있습니다. 공구의 치수는 335 x 389 x 309 mm이며, 다양한 작업 환경에 적합합니다. 전반적으로, F50R은 정확하고 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 모든 것을 포괄하는 비용 효율적인 솔루션입니다. 신뢰할 수 있는 성능, 자동 제어 (automated control), 데이터 보고 (data reporting) 기능을 통해 모든 산업 또는 연구 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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